臭氧发生器预氧化可以破坏水中的部分三卤甲烷前驱物质，其机理主要是臭氧能选择性地破坏某些前体物分子中的活性点。当水中的重碳酸盐含量较高时，臭氧预氧化对THMFP的降低幅度相剥较大，反之则降幅较小。这是因为在有自由基捕获剂(重碳酸盐)存在的条件下，臭氧分子对三卤甲烷前体物的氧化破坏具有选择性，因而降低r后续氯化消毒过程中副产物的生成量。
臭氧氧化能有效降低三-氯-乙-酸、二氯乙腈等难挥发性卤代有机物的生成势，但是对二-氯-乙-酸的生成势却没有任何影响，而三氯乙酮的生成势则有所升高。臭氧预氧化也会使水中三-氯-硝基-甲-烷的生成势有所升高，这可能是由于臭氧将水中的胺氧化成一些含氮有机物，从而在后续氯化消毒过程中生成了三-氯-硝基-甲-烷。当水中含有溴离子时，臭氧预氧化就有可能使水中溴代三卤甲烷的浓度升高。有试验表明，预臭氧氧化和混凝沉淀对THMFP有一定的去除作用，在0．75 mgO、／DOC(DOC基本为2 mg／L左右)的预臭氧投加量下，两次试验的去除率分别为12，1％和11．2％，相差不大，去除率也不算高；而对HAAFP的去除率仅为10．1％。对两者的去除率都低于高锰酸盐单独氧化的。鉴于单独臭氧预氧化对三卤甲烷和卤乙酸生成势的去除率较低，阻及会导致某些剐产物的浓度升高，开展了投加高锰酸盐强化臭氧氧化(复合预氧化)的研究。
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