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SD-160等离子溅射仪

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具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称北京博远微纳科技有限公司
  • 品       牌
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  • 所  在  地
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2022/9/16 16:44:55
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北京博远微纳科技有限公司 创立于2004年,共有员工20余人,其中高级工程师8人,研发团队7人,是中国区专注于研发、生产、销售溅射仪及扫描电镜的。公司集溅射仪,镀膜仪,扫描电镜,维护改造四位一体,拥有一支专业的工程师团队,并将溅射仪、镀膜仪系列产品的质量和性能提高到国际的水准。在过去的10多年间,博远微纳单在中国区已销售、服务超过1000位商业客户,累积销售近千台溅射仪、镀膜仪和扫描电镜等配套服务。 据相关资料统计,博远微纳单在中国大陆的已经达到30%以上。国际市场情况请联系公司国际销售顾问。 公司以严格的质量保证体系(公司认证ISO: 9001,产品符合欧盟CE标准,部分认证危险化学品及美国质量认证),的服务标准,的生产技术,的制造工艺,按照客户需求设计、制造、生产各类型溅射仪、镀膜仪、扫描电子显微镜等系列产品。
高稳定性、高灵敏度电磁阀,采用双气路自动控制系统
SD-160等离子溅射仪 产品信息

        SD-160型离子溅射仪是采用二级(DC)直流溅射原理设计而成的离子溅射镀膜设备。二极(DC)直流溅射是一种、可靠、经济的镀膜技术,是许多厂商提供的离子溅射仪的基础。除了具有通常的基本结构外,它的特点是:配置有样品溅室,真空显示表、溅射电流指示表、溅射电流调整控制器、微型真空阀、定时器。工作时结合内部自动控制电路很容易控制真空室压强、电离电流及选择所需的电离气体,获得镀膜效果。 特殊设计的钟罩边缘橡胶密封圈,可保证长期使用不会出现影响样品溅射室真空度的玻璃钟罩“崩边”现象;陶瓷密封高压头比通常采用的橡胶密封更经久耐用。根据电场中气体电离特性,采用大容量样品溅射真空室和相应面积溅射靶,使溅射镀层更均匀洁净。此外SD-160应用高稳定性、高灵敏  度电磁阀,采用双气路自动控制系统,更  易实现对样品的保护以及对样品成膜品质  的保证。特别适用于电镜实验室的SEM样品制备和新材料研究的电极制作。

      配有高位定性的飞跃真空泵



"The SD-160 type ion sputtering apparatus is designed by means of the two stage (DC) DC sputtering principle. DC (DC) sputtering is the simplest, reliable and economical coating technology, and is the foundation of many manufacturers.

In addition to its usual basic structure, SD-160 is characterized by the configuration of a sample splash, a vacuum display table, a sputtering current indicator, a sputtering current adjustment controller, a miniature vacuum valve, and a timer. It is easy to control the vacuum chamber pressure, ionization current and choose the required ionization gas when working in conjunction with the internal automatic control circuit, so as to achieve the best coating effect. Specially designed bell ring rubber seal ring,

It is guaranteed that the long term use of glass clocks, which will not affect the vacuum of the sample sputter room, is "disintegrating"; the ceramic sealing high pressure head is more durable than the usual rubber seal. According to the ionization characteristics of the gas in the electric field, the large volume sample sputtering chamber and the corresponding area sputtering target are used to make the sputtering coating more uniform and clean.

In addition, SD-160 uses high stability, high sensitivity solenoid valve and dual gas automatic control system. It is easier to protect the sample and guarantee the quality of film forming. It is especially suitable for SEM sample preparation in electron microscope laboratory and electrode preparation for new material research.

High qualitative jump vacuum pump"


溅射气体
溅射靶材 溅射电流 溅射速率 样品仓尺寸 样品台尺寸 工作电压
根据实验目的可添加氩气,氮气等多种气体。 标配靶材为金靶,厚度为50mm*0.1mm。也可根据实际情况配备银靶、铂靶等。

电流

50mA,工作电流30mA

优于4nm/min

直径160mm,高120mm

样品台尺寸可安装直径50mm和直径70mm的样品台,也可根据自身要求定制样品台

220V

(可做110V),

50HZ

                                                                                      

需要镀膜的样品

   

电子束敏感的样品 非导电的样品 新材料
主要包括生物样品,塑料样品等。S EM中的电子束具有较高能量,在与样品的相互作用过程中,它以热的形式将部分能量传递给样品。如果样品是对电子束敏感的材料,那这种相互作用会破坏部分甚至整个样品结构。这种情况下,用一种非电子束敏感材料制备的表面镀层就可以起到保护层的作用,防止此类损伤; 由于样品不导电,其表面带有“电子陷阱”,这种表面上的电子积累被称为“充电”。为了消除荷电效应,可在样品表面镀一层金属导电层,镀层作为一个导电通道,将充电电子从材料表面转移走,消除荷电效应。在扫描电镜成像时,溅射材料增加信噪比,从而获得更好的成像质量。 非导电材料实验电极制作观察导电特性



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