设备特点
+ 六维度自由移动
+ 厘米级行程，纳米级精度的位置控制
+ 闭环位移器，机械稳定性
+ 50 nm 线性移动精度，1 μrad 倾角精度
+ 特殊材质，兼容各种光学环境与超高真空环境
+ 软件全自动操控
高稳定性
| 行程1mm范围，高度可重复性 |
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| 行程1mm范围，误差小于50nm |
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| 小范围内，误差小于10nm |
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标准配件
AMC100位移控制器 + 同时控制六个方向位移； + 结合attocube专门开发的 hexaCUBE控制软件； + 兼容Labview； |
基本参数
产品型号 | hexaCUBE190 |
适用环境 | 1atm/HV/UHV |
位移器尺寸 | 190×180×105 mm3 |
负载 | 700 g |
中心孔距 | 26 mm |
行程 | 线性x方向 ±15 mm 线性y方向 ±15 mm 线性z方向 ±20 mm 倾角x方向 +33/-19° 倾角y方向 ±21° 倾角z方向 ±19° |
精度 | 线性x,y,z方向 50nm 倾角x,y,z方向 1μrad |
材质 | 铝，不锈钢，塑料 |
应用软件
+ 界面直观 + 六维度点对点控制 + 布局合理 + 精确控制 |
