应用领域 DS-801A/D自动分选机是IC生产过程中用于将表面质量的管芯从蓝膜拾取,并放置到晶粒盒里的一种自动化设备。可适用多种尺寸的管芯和多种规格的晶粒盒(Tray盘和JEDECK盘),并实现了蓝膜到蓝膜等多种工艺流程。 本机有着合理的结构设计及良好的操作性、稳定性、高可靠性。双工作台结构实现晶粒盒上下料时设备不停机。 |
技术特点
◎适用于8″及以下晶圆加工;
◎可输出至2″~4″规格的晶粒盒(Tray盘);
◎可选单顶针与多顶针模块,并支持快速更换;
◎支持自动扩膜功能,扩膜行程可控;
◎软件系统功能强大,运行可靠,支持MAP图功能;
◎高效视觉检测系统,可进行芯片识别定位及表面缺陷检测;
◎支持分类拾拣功能;
◎双工作台实现收料不停机。
◎大尺寸JEDECK盘,或到蓝膜等其它有特殊要求的治具上