技术参数 | |||||
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主要参数 |
● 输入电源:220V 通用 功率:< 1KW ● 工作电流: 溅射电流:0-50 mA可调 ● 单次工作时间:0-5分钟可调 ● 靶头数目:3个 ● 输出电压:1600V DC ● 样品台加热温度:500℃(选配)
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溅射腔体 |
● 采用石英腔体,尺寸:166mm OD x 150mm ID x 290mm H ● 密封:采用O形密封圈密封
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样品台 |
● 一个外径50 mm 的样品台,用于盛放基片,可以电动控制移动三个位置 ● 溅射距离:25 - 40毫米可调 ● 可选购加热型样品台(MAX温度可到500℃) ● PID控制器控温精度+/- 1℃(已集成到触摸屏上)
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控制面板 |
● 控制面板为PLC,4.3" 触摸屏 ● 一个控制面板可以控制所有的参数,包括真空度,电流,靶材位置和基片加热温度
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真空泵(选配) |
● 用机械泵真空度达 50 mtorr(仅供参考,详情请点击) ● 用分子泵真空度可达 10-4 torr(仅供参考,详情请点击)
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进气口 |
一个精密可调针阀安装在进气口,以实现方便的调节进气量
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靶材 |
● 要求安装靶材的尺寸:直径Φ47mm,厚度0.5-3mm ● 可在本公司选购靶材,具体请点击链接
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外形尺寸 |
● 460mm×330mm×540mm (L×W×H) ● 净重:50KG(不包括泵)
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质保期 |
一年保修,终身技术支持 特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内
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质量认证 | CE认证
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各种靶材的参数(仅供参考) |
对于溅射各种金属靶材,需要摸索THE BEST 的溅射参数,下表是本公司实验所设置的参数(参考值, 详情请点击) | ||||
靶材种类 | 真空度(Pa) | 溅射电流(mA) | 时间(s) | 溅射次数 | |
Au | 31-33 | 28-30 | 100 | 1 | |
Ag | 31 | 28 | 100 | 1 | |
使用注意事项 |
● 由于能量低,该模型不适用于涂层的轻金属材料如Al,Mg,Zn,Ni。请考虑我们的磁控溅射镀膜机 或热蒸发镀膜机。点击下面图片查看细节 ● 有时为了达到理想的薄膜厚度,可能需要多次溅射镀膜 ● 为了得到较好的薄膜质量,必须通入高纯气体(建议> 5N) ● 在溅射镀膜前,确保溅射头、靶材、基片和样品台的洁净 ● 要达到薄膜与基底良好结合,请在溅射前清洁基材表面 ● 超声波清洗(详细参数点击下面图片):(1)丙酮超声(2)异丙醇超声-去除油脂(3)吹氮气干燥(4) 真空烘箱除去水分。 ● 等离子清洗(详细参数点击下面图片):可表面粗糙化,可激活表面化学键,可祛除额外的污染物 ● 制造一个薄的缓冲层(5纳米左右):如Gr,Ti,Mo,Ta,可以应用于改善金属和合金的附着力
超声波清洗机 等离子清洗机 大功率磁控溅射仪 蒸镀仪 手套箱
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警告 |
● 注意:产品内部安装有高压元件,禁止私自拆装,带电移动机体。 ● 气瓶上应安装减压阀(设备标配不包括),保证气体的输出压力限制在0.02兆帕以下,以安全使用。 ● 溅射头连接到高电压。为了安全,操作者必须在关闭设备前装样和更换靶材 |
深圳市科晶智达科技有限公司2001年成立于深圳,是一家聚焦服务于高校、研究院所、企业研发部门的国家技术企业,长期致力于打造安全、高效、智能的实验研发一站式服务平台,为科学研究与产业孵化赋能。 深圳科晶与美国MTI、合肥科晶、沈阳科晶同属MTI-科晶联盟,目前已经搭建辐射的服务网络,精心为科学家们的实验室提供交钥匙工程解决方案。 深圳科晶创立初期主要为半导体、精密光学器件提供洁净存储和安全转移所使用的包装制品,产品包括各种塑料胶盒、膜盒、晶圆盒、海绵盒、花篮等。 公司2008年开始进行材料相关研发设备和锂电池实验设备的开发,经过十多年的积累深圳科晶现已成为新能源和新材料基础研究、小试与中试、测试与评估的整体解决方案规划者和提供者,产品应用涵盖了石墨烯材料、*陶瓷、*纳米材料、锂离子电池、超级电容器、燃料电池、固态电池、钙钛矿太阳能电池、功能薄膜等方向。 主要产品系列:按应用与工艺更新产品系列 ? 材料基础研究实验装备(包括混料、涂覆、镀膜、压制、烧结、切割、研磨、抛光、粉碎、制粉、造粒、熔炼等); ? 电池研发实验制备装备(包括锂离子电池、固态电池、超级电容器、金属空气电池、钠离子电池、液流电池、太阳能电池等制备方案); ? 电池安全测试装备(符合GB31241 、GB31485、IEC62133、UN38.3等国内标准等); ? 锂离子电池中、小试生产制备全流程系统装备方案,交钥匙工程(包括扣式、柱状、软包、方形铝壳等各种全电池制备方案); ? 燃料电池研发实验制备装备(包括固体氧化物、质子交换膜燃料电池等制备方案); ? 钙钛矿太阳能电池研发实验制备; ? 功能薄膜研发实验设备(包括混料、涂布、辊压/复合、分切、复卷等); ? 高通量材料基因组实验设备(包括配液、配粉、混合分散、压片、烧结、测试表征等); 公司设立了开放的研发实验室和设备体验中心。对于锂电池行业,可实现公斤级别材料制备及电池研发,能接受上门小批量材料验证、定向工艺研究及小量成品电池制备等研发工作。 深圳科晶强大的研发团队支撑了丰富的产品链,针对现有产品具有*知识产权的发明和实用新型共40多项(包含PCT和国内发明),并参与行业多项标准制定且获得多个行业协会认可。 本着“精诚合作、创新共赢”的宗旨,深圳科晶先后与清华大学、南开大学、上海交通大学、深圳大学、中航发航材院、溧阳天目湖研究院等十多个高校机构和企业签署产学研合作。与此同时,深圳科晶设立了对外服务的公共试验平台,承接科研人员参观交流与现场测试体验,配备行业的售前技术人员协助研究者充分了解相关工艺和设备,缩短调研考察与决策时间。该实验室平台也可以承接相关工艺试验服务和培训咨询服务,协助细分领域的科研工作者快速掌握产业工艺,从而专注前沿研发。 材料科学是基础科学。纵观人类科技的发展历史,新型材料的发现和应用将带来巨大的产业机遇,而*的实验装备和仪器是为科研和应用保驾护航的重要保障。科晶团队将一如既往秉承“客户为本,技术为导,诚信为基,积极创新”的运营理念 ,竭力为科学研究和科技发展做出贡献。
VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪 产品信息