石墨烯生长炉由管式炉+真空系统+供气系统+水冷系统组成 ,温度可以达到1200度,可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。管式炉采用掺钼合金加热丝为加热元件,采用双层壳体结构和宇电控温仪表,能进行30段程序控温,移相触发、可控硅控制,炉膛采用日本进口氧化铝多晶纤维材料,具有温场均衡、表面温度低、节能等优点。 软件控制系统:该炉配有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出。
适用范围:
石墨烯生长炉是一种特殊的CVD系统,是专门为在金属箔(像铜箔、铝箔等)上生长薄膜而设计,广泛应用在新一代能源关于柔性金属箔电极方面的研究上,特别适用于碳纳米管、碳纳米线、石墨烯的生长。
石墨烯生长炉是一种特殊的CVD系统,是专门为在金属箔(像铜箔、铝箔等)上生长薄膜而设计,广泛应用在新一代能源关于柔性金属箔电极方面的研究上,特别适用于碳纳米管、碳纳米线、石墨烯的生长。
标准配件:
质子流量计×1 | 真空系统×1 | 射频电源×1 |
气炼石英炉管×1 | 真空法兰×1 | 防烫罩×2 |
高温手套×1 | 坩埚钳×1 | 热电偶×1 |
刚玉坩埚×2 | 炉塞×2 | 中文说明书×1 |
可选配件: 液晶触摸控制仪 全自动智能型水冷机
技术参数:
产品名称 | 1200℃石墨烯生长炉 |
产品型号 | PT-1200T-S6012LK1-4Z5S |
恒温区长度 | 150mm (+/-1 ℃) |
加热区长度 | 440mm(更多规格可按用户需求定制) |
正常工作温度 | 1100℃(此温度为长期加热温度 可选) |
温度 | 1200℃(可选1700℃) |
炉管尺寸 | Φ60×1440mm(更多规格可根据用户需求定制) |
输出功率 | 5 ~500W ± 1% . |
射频频率 | 180mm(+/-1°C) |
恒温区长度 | 13.56 MHz ±0.005% . |
反射功率 | 约200W |
阻抗匹配 | 自动 |
真空度 | 10-3torr |
波纹管 | KFD25 快接,不锈钢波纹管,手动挡板阀与法兰,真空泵相连. |
四通道控制 | 精度0.02% 、数字显示、自动控制、 一个混气罐、底部装有泄废液口 |
MFC 1范围 | 0~100 sccm |
MFC 2和3 | 0~500 sccm |
进气接口 | 1/4NPS |
出气接口 | 1/4NPS |
水冷法兰要求 | 水流量 >= 10L/M ,配有专业水冷机组 |
售后服务 | 12个月质保、终身保修 |