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日立Hitachi 离子溅射仪 MC1000

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具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称深圳市蓝星宇电子科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2022/9/28 14:45:27
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深圳市蓝星宇电子科技有限公司,经过十多年的紫外光专业技术沉淀,可以根据客户特殊要求提供定制化服务,研发设计组装:紫外臭氧清洗机(UV清洗机),准分子清洗机,等离子清洗机/去胶机等科研以及生产设备,拥有自主品牌及注册商标。 同时我们代理欧美日多家高科技设备厂家高性价比产品, 始终坚持创新, 技术, 服务, 诚信的企业文化,为广大中国及海外客户提供的仪器设备和材料的整体解决方案。 应用领域: 半导体/微纳,光电/光学, 生命科学/生物医疗等领域的研发和生产, 客户群体例如高等院校, 研究所,科技企业及医疗机构等。 半导体/微纳,光电/光学 产品主要有: 德国ParcanNano(Nano analytik)针尖光刻机,电子束光刻机, 激光直写光刻机,紫外光刻机,微纳3D打印机,德国Sentech刻蚀机/镀膜机及原子沉积,英国HHV磁控/电子束/热蒸发镀膜机,微波离子沉积机MPCVD,芬兰Picosun原子层沉积机,电子显微镜, 德国Bruker布鲁克原子力显微镜/微纳表征/光谱仪, 美国THERMO FISHER赛默飞光谱/色谱/质谱/波谱仪,美国Sonix超声波显微镜, 德国耐驰Netzsch热分析仪, 德国Optosol吸收率发射率检测仪, 日本SEN UV清洗机/UV清洗灯,美国Jelight紫外清洗机/紫外灯管,德国Diener等离子清洗机等*技术产品。 生命科学/生物医疗 产品主要有:PCR仪,核酸质谱仪/核酸检测仪,电子显微镜,紫外设备,光谱/色谱/质谱/波谱仪,生物芯片,试剂,实验耗材等。 并可依据客户需求,研发定制相关产品。我们以高性价比的优势为客户提供优质的产品与服务,为高等院校, 研究所,科技企业及医疗机构等客户提供仪器设备和材料。
日立Hitachi 离子溅射仪 MC1000,采用磁控型电极,限度地减轻对样品的损坏。
日立Hitachi 离子溅射仪 MC1000 产品信息

日立Hitachi 离子溅射仪 MC1000

特点:

。采用LCD触摸屏,可以更加简便地设定加工条件
。可处理较厚或较大的样品(选配件)
。记忆功能可存储常用加工条件

规格:

项目 说明
放电: 类型: 磁控二极管放电型(电场垂直于磁场)
电极组成: 反向平行盘(嵌入磁铁)
电压: 0.4 kV DC(直流可变)
电流: 40 mA DC
喷镀速率 *1():
[条件]:
压力:7 Pa
放电电流:40 mA
标靶与样品表面之间的距离:20 mm
Pt 靶(选配件): 15 nm/min
Pt-Pd 靶(选配件): 20 nm/min
Au 靶(选配件): 35 nm/min
Au-Pd 靶(选配件): 25 nm/min
样品尺寸: 直径: φ60 mm
高度: 20 mm
机械泵: 135/162 l/min (50/60Hz)
靶材*2: Pt , Pt-Pd (8:2) , Au , Au-Pd (6:4)
电源要求: 单相, 100 V AC (±10%) 15 A (50/60 Hz), 3-针插头线缆(3 m)
尺寸: 宽度: 450 mm
长度: 391 mm
高度: 390 mm
重量: 主机:约 25 kg
机械泵:约 28 kg
关键词:离子溅射仪
15700106413
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