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压电晶体生长炉
产品简介： 本设备是公司新研发的用于钽酸锂（LT）和铌酸锂（LN）等材料的压电晶体生长的设备。主要用于CZ法单晶的生产，全自动控制系统可提高晶体品质和一致性，过程可控稳定性高，减少人工干预、工作强度和成本。 |
压电晶体生长炉 技术参数
技术参数：
炉体内腔尺寸：φ800mm×1000mm
外形尺寸：1000mm×1000mm×2500mm
长晶尺寸：6英寸
籽晶轴提拉行程：450mm
提拉运动最小线速度：0.01mm/hr
快速提拉速度：200mm/min
籽晶轴转动速度：0.1～100r/min
称重系统：称重传感器量程20kg；信号放大器显示精度0.01g
控制软件：提拉法等径控制软件，采用上称重方法来控制晶体直径，晶体形状可随意设计，PID及运动参数可随晶体形状过渡变化，屏幕上数据交叉显示提供生长过程中数据综合分析工具。
加热电源：中频感应加热
加热输出功率：30KW
真空系统：机械泵抽真空
水冷系统：炉腔、加热线圈流量控制循环冷却。
