日本advance riko桌面型快速退火炉MILA-5050
Mila-5050是一款桌面型的快速退火炉，可用于处理φ50mm以内的样品。
用于处理φ20mm以内的Mila-5000系列自推出以来深受客户的认可。随着客户对大尺寸样品处理需求，Advance Riko在Mila-5000的基础上推出可处理φ50mm样品的MILA-5050。MILA-5050延续了MILA5000的紧凑设计，是一款集成加热炉，加热腔及温控器与一体的桌面型快速退火炉。
用途
硅片和复合圆晶的快速退火
电子材料的快速热退火，例如光学CVD的基板
玻璃基板，陶瓷和复合材料等的热处理
热循环测试
金属材料的热退火
涂膜的耐热性评估
有机材料和树脂的加热和干燥
特長
可对φ50mm以内的样品进行热处理
最高热处理温度1200℃
集成加热炉，加热腔及温控器与一体的桌面型设计
搭配水冷循环腔体，可进行洁净的快速升降温。
通过USB连接，可将温控程序输入到电脑
加热过程中可通过电脑监测温度数据；
仕様
| 控温范围 | RT ～ 1200 °C |
|---|---|
| 升温速率 | 50 °C/s |
| 样品尺寸 | □ 50 or φ 50 × t 2 (mm) |
| 气氛 | 真空，流动气氛 |
* 可选配件：真空泵
* 加热温度or升温速率根据被加热样品的红外反射率，吸收率，热容和材料而变化。
均匀性测试
① 500℃,Δt = 3.2℃
② 800℃,Δt = 0.6℃
③ 1000℃,Δt = 4.2℃
④ 1200℃,Δt = 2.6℃
样品安装（2英寸样品）
可选配件：SiC包覆的石墨样品台 , 石英样品支架
安装需求
| 电源 | AC200V , 5kW |
|---|---|
| 冷却水 | 流速≥ 6L/minn 水压≥0.3Mpa |
| 外形尺寸 | 450(W) x 492(D) x 219(H) mm （不包含突出部分） |
| 重量 | 约 24kg |
可选配件
SiC包覆的石墨样品台
真空泵 (旋转真空泵，干式真空泵，分子泵)
转子流量控制计
冷却水流量控制器
止回阀（泄压阀）
电源线，冷却水管
冷却水循环机
手提点焊机 HS-9000
手提弧焊机HA-1H
日本advance riko桌面型快速退火炉MILA-5050
