石墨烯生长炉由管式炉+真空系统+供气系统+水冷系统组成 ，额定温度可以达到1200度,可以是单温区、双温区、三温区等，极限真空可以达到10-3Pa，供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计，混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。管式炉采用掺钼合金加热丝为加热元件，采用双层壳体结构和宇电控温仪表，能进行30段程序控温，移相触发、可控硅控制，炉膛采用日本进口氧化铝多晶纤维材料，具有温场均衡、表面温度低、节能等优点。 软件控制系统：该炉配有通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出。
适用范围：
石墨烯生长炉是一种特殊的CVD系统，是专门为在金属箔（像铜箔、铝箔等）上生长薄膜而设计，广泛应用在新一代能源关于柔性金属箔电极方面的研究上，特别适用于碳纳米管、碳纳米线、石墨烯的生长。
标准配件：
| 质子流量计×1 | 真空系统×1 | 射频电源×1 |
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| 气炼石英炉管×1 | 真空法兰×1 | 防烫罩×2 |
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| 高温手套×1 | 坩埚钳×1 | 热电偶×1 |
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| 刚玉坩埚×2 | 炉塞×2 | 中文说明书×1 |
可选配件：液晶触摸控制仪全自动智能型水冷机
| 电炉名称 | 1200℃石墨烯生长炉 |
| 电炉型号 | SGM-1200T-S6012SGM1-4Z5S |
| 恒温区长度 | 150mm (+/-1 ℃) |
| 加热区长度 | 440mm(更多规格可按用户需求定制) |
| 正常工作温度 | 1100℃(此温度为长期加热温度 可选) |
| 额定温度 | 1200℃（额定可选1700℃） |
| 炉管尺寸 | Φ60×1440mm(更多规格可根据用户需求定制) |
| 输出功率 | 5 ～500W ± 1% . |
| 射频频率 | 180mm(+/-1°C) |
| 恒温区长度 | 13.56 MHz ±0.005% . |
| 反射功率 | 额定约200W |
| 阻抗匹配 | 自动 |
| 真空度 | 10-3torr |
| 波纹管 | KFD25 快接，不锈钢波纹管，手动挡板阀与法兰，真空泵相连. |
| 四通道控制 | 精度0.02% 、数字显示、自动控制、 一个混气罐、底部装有泄废液口 |
| MFC 1范围 | 0~100 sccm |
| MFC 2和3 | 0~500 sccm |
| 进气接口 | 1/4NPS |
| 出气接口 | 1/4NPS |
| 水冷法兰要求 | 水流量 >= 10L/M ，配有专业水冷机组 |
| 售后服务 | 12个月质保、终身保修 |
