日本ulvac换能器类型皮拉尼真空计SW1-2
可以测量从大气压到5×10M -2 Pa的宽范围的皮拉尼真空计。
此外，该真空计消除了传统控制器（传感器单元）的操作和显示部件，并将其缩小到低限度的必要功能，从而实现了“降低成本”和“节省空间”。
特征
广域测量：可进行从大气压到5×10 -2 Pa 的广域测量
提高耐冲击性：高耐冲击性设计结构
出色的大气压精度：无论真空计的安装位置如何，精度都在±20%以内
灯丝材料/铂（Pt）：耐腐蚀铂用作灯丝材料。
提高可视性：配备用于检查异常的 LED
可一键调节：可一键调节气压和调零。
可维护性：易于更换手写笔
适用测针扩展：除NW16/25规格外，还增加了Φ15/18规格、对角法兰规格、锥螺纹R1/8规格。
测量值输出信号：0 至 10 V 压力日志输出为标准设备
控制输出信号：可输出2个设定点（SW1-1）
串行通信规格：可进行RS-232C/RS-485通信（SW1-2）
符合标准：兼容CE标准
运用
太阳能电池、FPD、半导体、电子元件等的制造
用于设备低真空区域的过程控制
用于熔炉等各种工业设备的低真空区域的过程控制
在线型和单晶片型等具有许多工艺室的各种类型
用于制造设备低真空区域的过程控制
规格
| 模型 | SW1-1 | SW1-2 |
| 可连接触控笔 | 一 | |
| 适用触控笔 | SWP-16（NW16）、SWP-25（NW25）、SWP-R1/8（R1/8）、SWP-P18（φ18）、SWP-P15（φ15）、SWP-CF16（ICF034）、SWP-1S（ ASME BPE 卫生型 1") | |
| 测量压力范围 | 5.0×10 -2 ~ 1.0×10 +5 Pa（Pa（显示范围：1.0×10 -2 ~ 1.2×10 +5 Pa） | |
| 测量精度* | 1×10 -1 Pa 至 1×10 +4 Pa : ±10% | |
| 5.0×10 -2 ~ 1.0×10 -1 Pa, 1×10 +4 Pa ~ 1×10 +5 Pa : ±20% | ||
| 可重复性 | 1×10 -1 Pa 至 1×10 +4 Pa : ±2% | |
| 采样时间 | 50ms 5次移动平均处理 | |
| 测量值输出 | 输出电压 DC 0～10V | |
| 压力指示（对数输出） 1.7V ~ 8.0V 1V/位（输出范围：1.0V ~ 8.1V） | ||
| (更新时间) 50ms | ||
| 控制输入信号 | 集电极开路输入，负逻辑 | - |
| ADJ调节（零位调节、气压调节） | - | |
| 控制输出信号 | 集电极开路输出， | - |
| 错误信号 | - | |
| 设定点 1、2 | - | |
| 设定值监视器 | 设定点 1、2：0-10V 日志输出 | - |
| 串行通信规范 | - | RS232C/RS485 |
| LED显示屏 | POWER/ERROR：电源，错误指示灯 | |
| SET-1：设定点 1 LED | - | |
| SET-2：设定点 2 LED | - | |
| 灯丝材料 | 铂 | |
| 工作温度限制 | 10~40℃ | |
| 工作湿度范围 | 15～80%（无冷凝） | |
| 知识产权保护等级 | IP30（传感器单元） | |
| 安装姿势 | 没有限制 | |
| 电源电压 | DC18V~30V，2W（通电时4.8W） | |
| 输入/输出连接器 | D-sub15-pin (M2.6mm螺丝) 传感器单元侧 | |
| 大量的 | 150g（含 SWP-16） | |
| 尺寸（电源）WxDxH | 70mm×46mm×28mm | |
| 配件 | 快速手册 | |
| 选项 | I/O连接器（D-sub15-socket（M2.6mm螺丝））、检验报告、通用校准测试报告、JCSS校准证书 | |
| 显示：ISG1（1ch）、IM1R1/IM2R1（4ch） | - | |
