日本ulvac热阴极电离真空计 ST200-A/R/E
这是一个新系列的换能器类型“G-TRAN 系列多离子规”，可以连接不同测量范围的触针。本产品为三极管电离真空计，不易失去灵敏度，即使在真空计的恶劣环境下也能进行更长时间、更准确的真空测量。在继承长寿命、低运行成本的理念的同时，我们进行了改进，使其更加人性化。
特征
提高可用性：PC/智能手机连接可实现设定点设置、状态确认等。
灯丝寿命通知功能：灯丝功率监控可提前通知灯丝寿命
可连接不同量程的接点：采用多离子规，可根据应用选择接点。
紧凑：比传统产品小得多（控制器体积减少 56%），最小的级别
扩充产品阵容：除了模拟输出规格（ST200-A）和串行通信规格（ST200-R）之外，还将增加EtherCAT规格（ST200-E）
世界三极管型金属电离真空计：真空计即使在恶劣环境下也能实现长寿命
压力测量范围广：可测量从大气压到高真空范围（1×10 +5至 1×10 -5 Pa）（连接选购件 SWU10-R 时）
精确的大气压测量：可以检查腔室开口的大气压（连接可选单元 SAU 时）
用途
用于有机EL、触控面板等制造设备的极限压力确认和过程控制
用于检查真空炉等各种工业真空设备的极限压力
用于在含有许多碳氢化合物（油基）的大气中进行测量
用于在真空部件加工过程中残留切削油或清洁液的环境中进行测量
用于希望减少更换真空计测针频率的真空设备
日本ulvac热阴极电离真空计 ST200-A/R/E
规格
| 模型 | ST200-A | ST200-R | ST200-E（即将发布） | |
| 规格 | 标准规格 | 串行通信规范 | EtherCAT 规格 | |
| 自适应多离子规传感器 | SWT-16(NW16)、SWT-25(NW25) | |||
| 可连接传感器 | 多离子规传感器：1 个 皮拉尼规 SWU10-R：1 个（选项） 大气压传感器 SAU：1 个（选项） | |||
| 重复性 (N 2 ) | ST200 独立模式：±2% | |||
| 采样时间 | 60ms 5次移动平均处理 | |||
| 测量值输出 | 输出电压 DC 0 至 10V LOG 输出 0.75V/1 位 压力转换公式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^{(V-7.25)/0.75+2} | |||
| 更新时间 | 60毫秒 | |||
| 控制输入信号 | 使用 FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFF 集电极开路输入、负逻辑运行 | - | - | |
| 控制输出信号 | 传感器错误，设定点 1/2/3，发射有效， 灯丝功率监控 额定值：24V MAX，50mA MAX，饱和电压 1V | - | - | |
| 串行通信规范 | - | RS232C/RS-485 | EtherCAT | |
| LED显示屏 | POWER/ERROR：电源、错误 LED（闪烁状态根据每种模式而变化） | |||
| 发射电流 | 2mA（1×10 -2 Pa以下）、10μA（1×10 -2 Pa以上） | |||
| 脱气 | 电子轰击法，发射电流2mA，栅极电压约330V | |||
| 传感器耐压 | 2×10 +5 Pa（压力） *法兰和卡箍的承受压力必须单独考虑。 | |||
| 传感器内部容积 | 17cm3 （ SWT-16）、19cm3 （ SWT-25） | |||
| 工作温度限制 | 10 至 50°C | |||
| 工作湿度范围 | 15 至 80%（无冷凝） | |||
| 贮存温度 | -20 至 65°C（未通电时无冷凝） | |||
| 知识产权保护等级 | IP30 | |||
| 电源电压 | 20 至 28 VDC（纹波、噪声 1% 或更低） 8W以下 | |||
| 输入/输出连接器 | D-sub 15针（M2.6螺丝） | |||
| 大量的 | 控制器：约 280g 触控笔（SWT-16、SWT-25）：80g | |||
| 尺寸 W×D×H | 69mm×63mm×90mm（控制器部分） | |||
| 符合标准 | 行政长官 | |||
| 选项 | 多离子计传感器 | SWT-16 (NW16)、SWT-25 (NW25) 材质：灯丝：Ir/Y 2 O 3涂层 其他：PtC-Mo、SUS304、W、可伐玻璃、可伐/镍镀层 | ||
| 皮拉尼规 | SWU10-R *也兼容传统 SPU | |||
| 皮拉尼压力传感器 | SWP-16(NW16)、SWP-25(NW25)、SWP-R1/8(R1/8)、SWP-P18(Φ18管端)、SWP-P15(Φ15管端)、SWP-CF16(ICF034) 材质: 灯丝 - Pt, 其他 - BS/Ni, 电镀, Ni, 焊料 | |||
| 大气压传感器 | SAU(NW16) 材质：SUS316L | |||
| 单元电缆 | GUC-200P（SWU用）：0.5m、1m、2m GUC-200A（SAU用）：0.5m、1m、2m | |||
| 显示单元 | 1CH：ISG1（使用DC24V供电） | |||
| 显示单元电缆 | SH200 和显示单元之间的电缆 2m, 5m, 10m, 15m, 20m, 25m, 30m, 35m, 40m | |||
| 连接器 | 输入/输出连接器（D-sub15-socket（M2.6mm螺丝）） | |||
| 其他 | 检验报告、一般校准测试报告、JCSS校准证书 | |||
