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3靶等离子溅射仪--VTC-16-3HD

参考价面议
具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称上海添时科学仪器有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地上海市
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2022/10/20 15:52:13
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上海添时科学仪器有限公司是一家代理国内外仪器的经销及技术服务的专业公司。公司所涉及的产品遍布大专院校、科研单位、工厂企业、商检、、农业、食品、超市、治金矿山、建筑、石油、路桥等行业。主要产品:生命科学仪器,化学分析仪器,光学仪器,物性测试仪器及设备,环保设备/流量仪表,行业专用仪器,药物检测仪器,种子仪器,农业和食品仪器,石油仪器,煤炭仪器,测绘仪表,建筑仪器,公路仪器,地质仪器,电工仪器仪表,自动化仪表,气象仪器,环保仪器,电教器材,无线电仪器,小型机械等。并且提供与生物技术相关的实验室科研仪器设备、实验室耗材与试剂、实验室设计、规划、改建等服务。公司以“高品质,高服务,高信誉”赢得各地市场,各个领域的好评和欢迎。未来,公司将引进和代理更多国内产品,并将研发自有品牌的产品以满足市场不同的需求,以更高质量的产品,更高质量的服务,更高效率的运营,朴素而*的管理理念,为客户提供更优良的产品和服务!公司宗旨:客户至上 诚信为本 开拓创新 成就*
VTC-16-3HD是一款紧凑型CE认证的等离子薄膜溅射仪(直流普通型),基片Z大尺寸2英寸,加热温度为500度和控制面板为触摸屏模式。它可以溅射三种类型的靶材和放置样品的直径是50mm . 旋转样品台,可以依次在同一样品上涂覆三种材料,金靶,银,铜, 它可以与真空泵,不锈钢波纹管KFD25快速卸装卡箍相连用.
3靶等离子溅射仪--VTC-16-3HD 产品信息

技术参数

输入功率

  • 110V / 220V 通用
  • < 2000W (含真空泵)

输出功率

  • 1600VDC
  • 大电流50mA 

样品室

石英罩: 160 mm Dia. x 120mm Height

加热样品台

  • 一个外径50 mm 的样品台可以移动三个位置 
  • 基片可以放在样品台上加热温度 500°C
  • PID控温方式和触摸屏面板,控温精度+/-10°C 
  • 长溅射时间不可超过5分钟

控制面板

  • 控制面板为PLC,4.3触摸屏
  • 一个控制面板可以控制所有的参数,包括真空度 , 电流 , 靶材位置  基片加热温度

可选
 

 

  • KF25 真空接口、卡箍,和600mm长不锈钢波纹管
  • 120L/M旋片式真空泵(包含在仪器内)
  • 不锈钢波纹管与KF-25真空接口相连接
  • 各种高纯度金属靶
  • 需要一个带压力调节器的氩气瓶 (这个我们不提供)

进气口

 一个精密可调针阀安装进气口,以实现方便的调节进气量



靶材

 

 

标配靶材分别有

  • 金,银,铜 靶材: 
  • 尺寸金靶  47 mm dia. x 0.12 mm, 1pcs

         银靶  47 mm dia. x 0.5 mm,  1pcs

         铜靶  47 mm dia. x 2.0 mm, 1pcs

  • 可选靶材点击链接、
    Pt Ag target , Zinc tarhetD

 外形尺寸
 

 

  • 360mm × 350mm × 360mm (L×W×H)
  • 净重:50KG

质保期

一年质保期,相关耗材除外,终身维护。

质量认证

   Certified

 

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