电子半导体行业超纯水EDI系统

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★水质要求 ☆二级反渗透制备超纯水工艺流程 预处理(砂滤器、碳滤器、软化器) →一级反渗透装置→中间水箱→二级反渗透装置 →超纯水水箱→纯水泵→用水点 ☆一级反渗透+混床制备超纯水工艺流程 预处理→一级反渗透装置→精制混床→精密过滤器→超纯水水箱→纯水泵→用水点 ☆二级反渗透+抛光混床制备超纯水工艺流程 预处理→一级反渗透装置→中间水箱→二级反渗透装置→抛光混床→精密过滤器→超纯水水箱→纯水泵→用水点 ☆二级反渗透+EDI+抛光混床制备超纯水工艺流程 (电阻率18MΩ.cm) 预处理→一级反渗透装置→中间水箱→二级反渗透装置→EDI主机→超纯水水箱→纯水泵→抛光混床→超纯水水箱→纯水泵→用水点 |
☆EDI超纯水设备技术简介 |