为了确保安全，需要臭氧尾气分解破坏装置来取走未溶解的臭氧气体并将其转化为氧气，这可由臭氧催化破坏装置来实现。尾气破坏器一般放置于接触池顶部，若采用氧化塔曝气，则放置于地面即可。
臭氧和水接触后，未溶解的臭氧气体在每一个臭氧接触室的出口被收集，由风机将臭氧尾气从接触池中抽出，通过尾气除湿器去除水雾后进入臭氧破坏装置。尾气在破坏器入口处通过预加热来防止其在催化器中发生冷凝。加热温度通过温控器调节，温控器的安全开关可在温度过高时切断电源。进入反应室后，臭氧分子在通过催化器时得以分解。随后，尾气被离心风机从催化床排出。
加热-催化混合型尾气分解器由以下元件组成：
a.催化反应槽，包括不锈钢催化槽、不锈钢网状格板及支承栅板、催化剂等；控制柜含有一套显示调节仪表，并可在终端安装报警器用于远程指示。
b.加热器 ，包括：温控器、不锈钢外壳、加热元件等；
c.离心风机：离心式，铝质涡轮和叶片，单/三相电机；
d.控制柜：小型控制柜一般与分解器为一体化设计。
主要特点
a.安全：尾气分解器使用目前较理想的触媒剂，它不消耗臭氧，不会吸收臭氧，并且可以保证臭氧不会达到危险浓度。
b.低温运行：运行温度大约为40℃，这样可以降低运行成本，相对于加热分解型尾气分解装置，大约90%的运行费用是可以省去的。
c.较低的压降：压降不超过0.02MPa。
d.出气浓度不高于0.1ppm，可以直接排放至大气。
