产品|公司|采购|招标

广电计量检测集团股份有限公司

燃烧式Scrubber特气尾气处理装置

参考价面议
具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称深圳沃飞科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2022/10/28 17:57:13
  • 访问次数637
产品标签:

在线询价收藏产品 点击查看电话
深圳沃飞科技有限公司成立于2011年,公司注册资金2180万,是一家专业从事气体应用系统 工程:电子特气系统、实验室气路系统、工业集中供气系统、大宗气体(液体)系统、高纯气 体及特殊工艺气体二次配管系统、化学品输送系统、纯水系统,提供从技术咨询、整体规划、 系统设计、选定设备、预制组件、项目现场安装建设、整体系统检测等全套工程技术服务和配 套产品于—体的;荣获“国家”认定并取得证书。工程项目覆盖半导体、集成电路、光电、新能源、微电子、生物医药、科研所、标准检测等高 科技行业;为客户提供高纯介质输送系统全套解决方案与全国各大院校科研所合作研发的多个 国家重点实验室项目,并取得了可喜的成绩。同时公司具有国家建筑机电安装工程专业承包资质、GC2管道设计安装资质,旗下有奥飞克 AFKR、Afklok&、沃飞⑧等行业品牌;公司自主研发生产的GC特气柜、GR特气架、 VMB阀门箱、VMP阀门盘、气体混配器、气体全/半自动切换装置、气体减压器、管件接头、 阀门仪表等产品于中国大陆和26个地区和国家,并获得了多项国家发明,为了追 求更好品质并给客户提供更高更安全的技术,严格按照ISO9001标准执行各项管理。经过多年的快速发展,公司现有各类专业技术人员60余人,其中:设计、研发、工程人员20 余人;管道工、电工、焊工、通风工、设备安装工等20余人。厂房面积2500m2,其中办公 区域面积500m2,生产车间面积2000m2;旗下子公司有西安办事处(负责华西业务),武汉 子公司(负责华中业务)以及香港子公司(负责海外进出口贸易)。
燃烧式Scrubber特气尾气处理装置处理气体种类可处理气体种类包括半导体、液晶以及太阳能等行业中蚀刻制程与化学气相沉积制程中使用的特气,主要包括SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O等。
燃烧式Scrubber特气尾气处理装置 产品信息

燃烧式Scrubber特气尾气处理装置

一.主要特点

1. 独立燃烧方式,燃烧之火焰涡流:可燃性毒性气体从低浓度至99%浓度均可用高温处理;

2. SiH4与NF3、NO2同时燃烧:SiH4与NF3、NO2可以同时于燃烧室中一起 燃烧;

3. 基本功能之安全设计:异常情况发生时,诊断机能会自动安全处理;

4. 使用刮刀方式,粉尘处理容易:燃烧室内部之附着粉尘,可使用独立之刮刀容易且确实地清除;

5. H2、LPG、天然瓦斯(LPG)各种型式:燃料气体可使用H2、LPG、天然瓦斯(LPG)3 种型式;

6. 保养简单:保养可在极短的时间内完成,费用也低廉;

7. 高信赖性:构造简单且零件数少,值得高度信赖。

二.燃烧式Scrubber特气尾气处理装置处理气体种类

可处理气体种类包括半导体、液晶以及太阳能等行业中蚀刻制程与化学气相沉积制程中使用的特气,主要包括SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O等。

三.燃烧式Scrubber特气尾气处理装置处理原理

1. 冷却空气之一部份在燃烧室内形成火焰涡流,制程气体会卷入燃烧;

2. Guardian之火焰涡流可将SiH4等气体,破坏其气泡产生;

3. 冷却空气在机台内部循环,燃烧室外部使用空气冷却。并可使排气温度冷却下降,而且可将燃烧后之氧化物排出等多样功能;

4. 热电对之安全装置,可监视燃烧室温度、排气温度、Process Gas导入管温度。另外Photo sensor可监视熄火,差压计可检视排气风量。

15168338725
产品对比
QQ

咨询中心

在线客服QQ交谈

市场部QQ交谈

发布询价建议反馈
回到顶部

Copyright hbzhan.comAll Rights Reserved

环保在线 - 环保行业“互联网+”服务平台

对比栏

提示

×

*您想获取产品的资料:

以上可多选,勾选其他,可自行输入要求

个人信息: