优势
• 新型的金属密封结构形式。该密封结构形式具有密封可靠、装配工艺简单、耐腐蚀等优势，广泛适用于各类气体流量的测量。
• 体积小、零漂小、抗力强的传感器。该传感器采用上、下游对称性结构设计，从而保证了传感器的零漂小;传感器内部设有保温棉，极大程度降低了环境温度对传感器的影响，从而提高了传感器的抗力，确保了气体流量检测的精度。
• *的人工智能机器人表面抛光技术。CS330系列产品金属表面粗糙度可达0.1RA，严格按照SEMI标准生产制造。
• CS330系列产品支持±8V~±16V双电源或者+14V~+28V单电源供电;支持数字，模拟输入输出。
• CS330系列产品支持多种电气接口，包括DB9、DB15、DeviceNet(侧部、顶部);支持RS485，DeviceNet通讯方式。
技术参数
| CS330C、D | |||
| 型号 | CS330C、D | ||
| 阀类型 | 常闭 | 无 | |
| 流量规格(N2) | (100,200) SLM | ||
| 准确度 | ±1.0% S.P. (＞35% F.S.) ±0.35% F.S. (≤35% F.S.) | ||
| 线性 | ±0.5% F.S. | ||
| 重复精度 | ±0.2% F.S. | ||
| 响应时间 | ≤ 1 sec | ||
| 工作压差范围 | 100 ~ 300 KPa （50＜F≤100SLM） | ||
| 温度系数 | 零点: ≤±0.02% F.S./℃；调节时：≤±0.1% F.S./℃ | ||
| 工作压差 | 1 MPa | ||
| 耐压 | 3 MPa (435pisg) | ||
| 漏率 | 5 x 10-12 Pa·m3/ sec He （5 x 10-11 atm.cc/sec He） | ||
| 密封材料 | 金属 | ||
| 工作环境温度 | （0～50）℃ | ||
| 输入信号 | 数字: RS485或 DeviceNetTM | 无 | |
| 输出信号 | 数字:RS485或 DeviceNetTM | ||
| 零漂 | 在没有零点校正时＜0.6%F.S./年 | ||
| 电源 | ±8 ～ ±16 VDC (双极)或 +14 ～ +28VDC (单极) | ||
| 表面化学成分 | 常态 | ||
| 标准接头形式 | VCR 1/2´´ | ||
| 电源接头形式 | D型9针阳接头；D型15针阳接头；DeviceNet 接头 | ||
| 重量 | 2.6 Kg | 1.5 Kg | |
