GSL1100X-SPC16-3 等离子3靶溅射仪是一款经过CE认证的紧凑型等离子镀膜机。本机是依据二极(DC)直流溅射原理设计而成的，、可靠、经济的镀膜设备。它的特别之处是在一个真空室内设计安装了三个靶。旋转样品台，可以依次在同一样品上涂覆三种材料。适用于实验室的各种复合膜样品制备，及非导体材料实验电极制作。
技术参数
| 电源电压 | 220V , 50/60 Hz |
| 输出功率 | - < 2000W (including pump)
- 离子电流表：电流：50mA 定时器：最长时间900s
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| 输出电压(DC) | 1600V |
| 样品室 | 石英罩： 160 mm Dia. x 120mm Height |
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样品载物台 | - 一个外径50 mm 的样品台, 可以移动三个位置
- 溅射面积: 45 mm
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| 配件
| - 120 L/m的双旋片式机械真空泵，进行抽真空
- 进气口处安装有储气球，防止泵油的回流，排气口安装有立式油污过滤器，可以过滤真空泵在工作时产生的油烟，减少泵油的损耗，和保护环境，和人体健康
- 不锈钢波纹管与 KFD-25接口相连用
- 高纯度金箔靶
- 系统需要一个带压力调节器的氩气瓶，但我们不提供
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| 可通入气体 | - 多种 气压：-1600（-3000）DCV
- 微型真空气阀：可连接Φ3mm软管
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靶材 | 标配靶材: - Au target: 47 mm dia. x 0.12 mm, 1pcs
- Cu target: 47 mm dia. x 2.25 mm, 1pcs
- Al target: 47 mm dia. x 3mm, 1pcs
可选靶材 - Pt target (47mm dia.x0.12mm, 4N) available at $1590/ea
- Ag target (47 mm dia. x 0.5mm, 4N) available at $495/ea
- Graphite target (47mm dia.x 1.0 mm, 4N) available at $295/ea
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| 设备特点 | - 配置有样品溅射室真空表和溅射电流表，用以指示、监控仪器状态；
- 溅射电流调整控制器、微型真空气阀。在工作时结合内部自动控制电路很容易控制真空室压强、电离电流及任意选择所需要的电离气体，获得镀膜效果；
- 特殊设计的钟罩边缘橡胶密封圈，可保证长期使用不会出现影响样品溅射室真空度的玻璃钟罩“崩边”现象；
- 陶瓷密封高压头比通常采用橡胶密封的更经久耐用；
- 根据电场中气体电离特性，采用大容量样品溅射真空室和相应面积溅射靶，使溅射镀层更均匀纯净。
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| 外形尺寸 | 400mm × 300mm × 400mm（L×W×H） |
| 净重 | 50 kg |
| 质保期和质量认证 | 一年质保期，终身维护 |
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