日本azbil热式微型液体流量计F7M
特征
通过将热敏 MEMS 传感器与高耐腐蚀石英玻璃流路相结合，我们实现了数 mL/min 的微量液体流量测量，这是使用传统测量方法难以测量的高再现性。
开发理念易于使用，因为它不易受流体状态变化（气泡、脉动、流体温度等）的影响，并且易于针对被测流体进行校正（校正基于热导率流体）。通过测量瞬时流量和累计流量代替泵转速、重量测量和流体供应时间管理等替代方法，可以根据更可靠的测量值在制造过程中进行质量控制和过程异常检测。
可测0.1mL/min
采用利用MEMS传感技术的热测量原理，可以测量过去难以稳定测量的几mL/min的微小流量。
（测量流量范围：0.1～10mL/min、0.3～30mL/min、0.5～50mL/min）
体积小、重量轻、安装方便
它比传统产品更小、更轻。
不需要单独的转换器（放大器）。
它可以使用随附的安装支架从顶面（用于水平管道）轻松安装。
也可安装在垂直管道中（流向：底部→顶部）。
直线流道
由于流道是直的，压力损失小，无积液，清洗方便。
通用性高
符合IP65防护结构。
由于产品外表面未使用金属材料，因此可用于易受液体飞溅的环境，提高了对腐蚀性流体的耐受性。
接液部分由石英玻璃（流路）和氟树脂（接头）组成，传感器不与液体接触，因此可用于多种流体（不腐蚀石英玻璃或聚四氟乙烯的流体）。
日本azbil热式微型液体流量计F7M
 | | 产品型号 | F7M9010 | F7M9030 | F7M9050 | | 测量流量范围（流体为水（H2O）时） | 0.1 至 10 毫升/分钟 | 0.3 至 30 毫升/分钟 | 0.5–50 毫升/分钟 | | 测量精度 | ± 5 %RD（流量范围的 20 % 或更多），± 1 % FS（小于流量范围的 20 %）
标准条件 * 1 表示基于我们的液体流量标准的体积流量的仪器误差。 | | 重复性 | ± 1 %RD（流量范围的 20 % 或更多），± 0.2 % FS（小于流量范围的 20 %）
标准条件 * 1. 仪器误差随体积流量的变化基于我们的液体流量标准。 | | 可测流体 | 不堵塞流路且不腐蚀或损坏石英玻璃或聚四氟乙烯 (PFA) 的流体 水 (H2O) 以外的流体会改变测量范围。 | | 准确性/可重复性保证流体 | 水（H2O） | | 精度/重复性保证流量范围（当流体为水（H2O）时） | 0.2 至 10mL/分钟 | 0.6 至 30 毫升/分钟 | 1.0 至 50 毫升/分钟 | | 温度特性（流体与周围没有温差的条件） | 当流体温度和环境温度都在 10 至 35°C 的范围内且两者相同时，与标准条件*1 的输出值相比，±0.5% RD/°C 以内。 | | 流体温度范围（保证工作范围） | 5 至 50°C（不结冰） | | 环境温度范围（保证工作范围） | 5 至 50°C（无结露或结冰），运输/储存温度 5 至 60°C | | 环境湿度范围（保证工作范围） | 10 至 90 %RH（无冷凝） | | 流体压力范围 | 0 至 500 kPa | | 耐压性 | 700 千帕 | | 安装姿势 | 卧式安装或立式安装（流向为自下而上）*2 | | 直管长度 | 50mm（流体为水（H2O）时） | | 接头抗拉强度 | 30N | | 驱动电源电压 | DC24V±10% 0.7W以下 | | 输出信号 | 瞬时流量输出：1点 1～5V DC*3（外部负载电阻：250kΩ以上，最大输出电压：5.6V）
外部接点输出（集电极开路）：1点（事件输出或积分脉冲*4） 30 V DC, 30 mA 小于 | | 外部接点输入 | 1点 无电压接点或集电极开路
允许ON接触电阻：250Ω以下
允许OFF接触电阻：100kΩ以上
允许ON残留电压：0.8V以下
ON时端子电流：0.5mA（接触电阻250Ω时） | | 大量的 | 85g（包括安装支架，不包括电缆） | | 保护结构 | IP65 | | 符合标准 | EN61326-1, EN61326-2-3 | 有关产品规格的详细信息，请参阅详细的使用说明书（CP-SP-1421）。
*1 标准条件是环境温度和流体温度均为 23°C 的条件。关于左侧以外的条件，请与我们联系。
*2 垂直安装时，与水平安装时相比，测量值的输出偏移约为±1 % RD。
*3 当流量低于最小可测量流量范围时，输出信号固定为 0% (1 V)。
它还输出高达测量流量范围的 115% (5.6 V)。
*4 需要 PC 加载程序来更改参数设置。 |
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