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白光干涉仪ZeGageplus 光学轮廓仪

参考价面议
具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称上海洛丰精密检测仪器有限公司
  • 品       牌
  • 型       号ZeGage plu
  • 所  在  地上海市
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2022/11/28 14:55:34
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上海洛丰精密检测仪器有限公司自2013年成立以来,通过与世界各仪器(如德国ZEISS,美国ZYGO干涉仪,美国菲思图硬度计,三丰量具量仪,英国泰勒检测仪,德国菲希尔测厚仪等)公司的良好合作,以及自身良好的经营理念,服务质量,已成为国内优质的检测仪器供应商.我们秉承为客户提供良好检测仪器的宗旨,已经为中船重工,航空航天,高校(东南大学、浙江工业大学、南京理工大学等),研究所(上海615研究所、上海811研究所、中航614所等)外企(德尔福、辉门、西门子、博世等)及民营企业(华为、瑞声集团、立讯集团、水晶光电等)提供了大量高附加值的精密检测仪器及*的检测方案.公司拥有一支专业的销售及服务团队,可以为不同客户提供各类精密检测产品的技术咨询,设备改造,维修维护,培训校准等技术服务.洛丰始终以"客户至上,诚信为本"的企业精神,愿意与各行各业的用户进行广泛的交流与合作,共同进步,共同发展。
ZeGage Plus系列的3D光学表面轮廓仪可以提供强大的多功能的非接触式光学表面形貌测量分析。所有的测量都无损、快速,并且不需要样品制备。强大的分析软件可以极其精准的描绘和定量分析表面粗糙度、台阶高度、关键尺寸和其它形貌特征。
白光干涉仪ZeGageplus 光学轮廓仪 产品信息

系统参数:

原理非接触、三维白光扫描干涉仪

扫描装置: 长范围 Z 轴调节

物镜: 1X - 50X 放大:标准工作距离2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x;长工作距离:1x, 2x, 5x, 10x,详见物镜参数表
视场: 跟所选物镜有
光源: 长寿命白光 LED,计算机控制光强
物镜安装:直接螺纹安装(标配);单物镜楔形座安装(选配);手动或电控 4 位物镜塔台(选配)
辅助聚焦: 软件控制辅助聚焦
测量阵列: 1024×1024,512×512,256×256,1024×160
样件观察: Mx 软件集成实时观察
Z 轴: 100mm 行程,主机头具有两种可选安装高度,以优化工作距离
样品台控制: USB 控制器
安全性: 系统集成紧急制动功能
样品台: 手动,俯仰倾斜±4°,集成 T 型槽板利于固定附件(标配) 手动型:XY 平移 50 x 100 mm(-01,-11);电动型:
XY 平移 100 x 100 mm(-02,-12)
计算机: i5 级别 PC,23 寸显示器 1080p
软件: ZYGO Mx 软件,Windows7(64 位)
尺寸(HWD): 系统:156×127×76cm; 工作桌:74x127x76cm; ZeGage 主机:82x53x53cm
重量: ZeGage Plus主机:54Kg; 工作台:37Kg
性能:
纵向扫描范围:≤ 20 mm,(受限于物镜工作距离)
表面形貌重复性:<0.15nm
光学分辨率(横向):0.52um (50x 物镜)
空间采样: 0.17um(50x 物镜)
扫描速度: ≤ 73 um/秒
台阶高度重复性:≤0.3%@1σ
台阶精度: ≤ 3%
被测样品特性:
材料: 各种材料的表面:透明,不透明,镀膜,非镀膜,反射,弱反射
尺寸(HWD):87 x 100 x 100mm 标准主机头位置;147 x 100 x 100mm 主机头加高采用局部覆盖放置可以测试更大的样品
反射率:0.05%-99%
环境要求:
温度: 15-30℃  <1.0°C/15 分钟
湿度: 相对湿度 5%-95%,无凝结
隔振: 包含隔振,要求隔离 1-120Hz 振动
振动准则: VC-C 或有更好的推荐
15700104732
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