CY-S-PC柜式匀胶机产品特点:
1. 耐腐蚀PP全柜式独立匀胶台
2.匀胶机底部带废胶收集,顶部带抽风功能
3.可升级自动点胶功能,适合工业化生产
4.集成触摸屏控制,上下移动式透明观察窗
5.使用伺服电机系统,性能稳定,满足工业要求
CY-S-PC柜式匀胶机产品参数:
1.旋涂程序:至多存100组程序,每组100步,每个步骤可**到0.1秒
2.转动速度:0-5000rpm(更高速可选),考虑重片或大片旋涂safety限定为5000rpm
3.旋涂加速度:0-10000rpm/sec(更高可选),考虑重片或大片旋涂safety限定为10000rpm/s
4.马达旋涂转速稳定性能误差:< ±1rpm
5.转速调节精度和重复性:1rpm
6.工艺时间设定: 0-3000 sec/step,时间设置精度:0.1sec
7.支持晶圆尺寸25px-300mm(12“圆晶)
8.旋涂作业均匀性:< ±3% 在6英寸范围内(需要去除边缘3毫米区域测量)
9..可配备多路自动点胶功能,点胶流速0.006-990ml/min可调
10.标配三种规格真空载物盘,其它尺寸可定制设计
11.可配备多路自动点胶功能,点胶流速0.006-990ml/min可调
12.标配三种规格真空载物盘,其它尺寸可定制设计
13.外型尺寸:1200mm(W)*800mm(D)*2300mm(H)
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