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OTF-1200X-50-DSL 定向CVD生长炉

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  • 公司名称深圳市科晶智达科技有限公司
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  • 厂商性质其他
  • 更新时间2022/12/10 14:29:28
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深圳市科晶智达科技有限公司2001年成立于深圳,是一家聚焦服务于高校、研究院所、企业研发部门的国家技术企业,长期致力于打造安全、高效、智能的实验研发一站式服务平台,为科学研究与产业孵化赋能。 深圳科晶与美国MTI、合肥科晶、沈阳科晶同属MTI-科晶联盟,目前已经搭建辐射的服务网络,精心为科学家们的实验室提供交钥匙工程解决方案。 深圳科晶创立初期主要为半导体、精密光学器件提供洁净存储和安全转移所使用的包装制品,产品包括各种塑料胶盒、膜盒、晶圆盒、海绵盒、花篮等。 公司2008年开始进行材料相关研发设备和锂电池实验设备的开发,经过十多年的积累深圳科晶现已成为新能源和新材料基础研究、小试与中试、测试与评估的整体解决方案规划者和提供者,产品应用涵盖了石墨烯材料、*陶瓷、*纳米材料、锂离子电池、超级电容器、燃料电池、固态电池、钙钛矿太阳能电池、功能薄膜等方向。 主要产品系列:按应用与工艺更新产品系列 ? 材料基础研究实验装备(包括混料、涂覆、镀膜、压制、烧结、切割、研磨、抛光、粉碎、制粉、造粒、熔炼等); ? 电池研发实验制备装备(包括锂离子电池、固态电池、超级电容器、金属空气电池、钠离子电池、液流电池、太阳能电池等制备方案); ? 电池安全测试装备(符合GB31241 、GB31485、IEC62133、UN38.3等国内标准等); ? 锂离子电池中、小试生产制备全流程系统装备方案,交钥匙工程(包括扣式、柱状、软包、方形铝壳等各种全电池制备方案); ? 燃料电池研发实验制备装备(包括固体氧化物、质子交换膜燃料电池等制备方案); ? 钙钛矿太阳能电池研发实验制备; ? 功能薄膜研发实验设备(包括混料、涂布、辊压/复合、分切、复卷等); ? 高通量材料基因组实验设备(包括配液、配粉、混合分散、压片、烧结、测试表征等); 公司设立了开放的研发实验室和设备体验中心。对于锂电池行业,可实现公斤级别材料制备及电池研发,能接受上门小批量材料验证、定向工艺研究及小量成品电池制备等研发工作。 深圳科晶强大的研发团队支撑了丰富的产品链,针对现有产品具有*知识产权的发明和实用新型共40多项(包含PCT和国内发明),并参与行业多项标准制定且获得多个行业协会认可。 本着“精诚合作、创新共赢”的宗旨,深圳科晶先后与清华大学、南开大学、上海交通大学、深圳大学、中航发航材院、溧阳天目湖研究院等十多个高校机构和企业签署产学研合作。与此同时,深圳科晶设立了对外服务的公共试验平台,承接科研人员参观交流与现场测试体验,配备行业的售前技术人员协助研究者充分了解相关工艺和设备,缩短调研考察与决策时间。该实验室平台也可以承接相关工艺试验服务和培训咨询服务,协助细分领域的科研工作者快速掌握产业工艺,从而专注前沿研发。 材料科学是基础科学。纵观人类科技的发展历史,新型材料的发现和应用将带来巨大的产业机遇,而*的实验装备和仪器是为科研和应用保驾护航的重要保障。科晶团队将一如既往秉承“客户为本,技术为导,诚信为基,积极创新”的运营理念 ,竭力为科学研究和科技发展做出贡献。
OTF-1200X-50-DSL是一款水平滑轨炉,其炉管直径为Φ50mm,炉体滑动速度可以根据实验需要而设置(1mm/sec-100mm/s),并可以设置左右反复滑动,同时还可以设置炉体的滑动距离
OTF-1200X-50-DSL 定向CVD生长炉 产品信息

OTF-1200X-50-DSL是一款水平滑轨炉,其炉管直径为Φ50mm,炉体滑动速度可以根据实验需要而设置(1mm/sec-100mm/s),并可以设置左右反复滑动,同时还可以设置炉体的滑动距离。此款管式炉专门设计用CVD方法定向生长单壁碳纳米管(SWCNTs)。通时此款滑轨炉也可用来在硅片上生长熔点较低的金属单晶。此系统包含了可设30段程序的高温炉、一根Φ50*1000mm的石英管和一套不锈钢真空法兰。

性能指标和基本配置
炉体结构

● 采用双层壳体结构,并带有风冷系统
● 一个滑轨安装在炉体下端,可通过一6“的触摸屏来控制炉体移动方向、滑动速度和往返次数
● 采用高纯氧化铝纤维作为炉膛材料,并且表面涂有美国进口高温氧化铝涂层,可提高加热效率和延长使用寿命。

功率

1.5KW

电压

AC220V,单相

共工作温度

1200℃(≤1小时)

连续工作温度

1100℃

加热区域

● 加热区:200mm(单温区)
● 通过管堵位置和炉体移动可形成想得到的温度梯度
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加热元件

掺钼铁铬铝(表面涂有高温氧化锆涂层,可延长其使用寿命)

炉管

● 高纯石英管
● 尺寸:50 mm OD x 46mm ID x 1000 mm L
● 仪器加热前,必须放入管堵,以防止热量辐射影响法兰的密封性

温控系统

● 采用PID方式调节温度,可设置30段升温、降温和保温程序
● 设置有温度过高和断偶保护系统
● 控温精度:±1℃
● 可选测PC控制软件,将升温程序和温度曲线导入到电脑中
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炉体滑动控制系统

● 触摸屏控制
● 炉体移动有手动和自动控制两种控制状态,在手动状态和自动状态下均可设定左右移动的速度,但只有在自动状态下才能设定左右移动的次数。
● 含蜂鸣报警器,当炉体触碰到限位开关就会产生报警,并切断控制电路,使炉体停止移动。
● 可显示高温炉内的炉温,与之通讯

密封法兰

● 仪器中配有一套不锈钢密封法兰(上面已安装不锈钢针阀和机械压力表)
● 法兰上有一Φ6.35的铠装孔,可将热电偶插入到炉管中,更准确地测量样品的实际温度
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石英气体喷嘴

可选配石英气体喷嘴,将反应气体与缓冲清洗气体分开通入,可有效减少副反应发生,实现CVD工艺,如局部控制前体浓度化学气相沉积工艺(ALC CVD)或单晶二维材料薄膜的生长工艺等。
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真空度

● 10E-5 torr (用分子泵)
● 10E-2 torr (用直联式机械泵)
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滑轨长度

1200mm

产品尺寸

● 315 x 300 x 380 mm (炉体)
● 1200 x 400 x 530 mm ( 整个外形)
● 360 x 180 x 300 mm(电器控制柜)

重量

100Kg

质量认证

CE certified
1

保修期 一年保修,终身技术支持。
特别提示:
1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
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  • OTF-1200X-50-DSL 定向CVD生长炉(英文版操作视频)
    OTF-1200X-50-DSL 定向CVD生长炉(英文版操作视频)
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