1.
2. 生产能力≤2.5s/1pcs(156mm*156mm),≤2.3/1PCS( 125mm*125mm) ,具有储片缓存能力
3. 机械臂强度可靠,能精确平稳快速运动
4. 传动部件速度具有从一个传动部分到另一个传动部分的协调能力,可调性强
5. 各独立硬件系统,软件上能实现独立控制
6. 输送皮带运输硅片
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2. 生产能力≤2.5s/1pcs(156mm*156mm),≤2.3/1PCS( 125mm*125mm) ,具有储片缓存能力
3. 机械臂强度可靠,能精确平稳快速运动
4. 传动部件速度具有从一个传动部分到另一个传动部分的协调能力,可调性强
5. 各独立硬件系统,软件上能实现独立控制
6. 输送皮带运输硅片
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