江南仪器为您提供奥林巴斯激光共聚焦显微镜LEXT OLS4100的方案介绍：
奥林巴斯激光共聚焦显微镜LEXT OLS4100是一款激光扫描显微镜，通过非接触的方式进行样品表面三维形貌观察和测量。分辨率达10nm，可以方便快捷地获取影像，同时配备丰富的测量功能。
采用了有着高N.A. 的专用物镜和专用光学系统（能限度发挥405 nm 激光性能），LEXT OLS4100 可以精确地测量一直以来无法测量的有尖锐角的样品。这有利于粗糙度的测量。
由于采用405 nm 的短波长激光和更高数值孔径的物镜，OLS4100 达到了0.12 μm 的平面分辨率。因此，可以对样品的表面进行亚微米的测量。结合高精度的0.8 nm 的光栅读取能力和软件算法，例如奥林巴斯开创的I-Z 曲线（请参阅第23 页），OLS4100 可以分辨出10 nm 的高度差。
OLS4100 采用了双共焦系统，结合高灵敏度的探测器，那些具有不同反射率材料的样品，也能在OLS4100 上获得鲜明的影像。
适用于透明层
多层模式
LEXT OLS4100 全新的多层模式则可以识别多层样品各层上反射光强度的峰值区域，并将各层设为焦点，这样即可实现对透明样品上表面的观察和测量，而且也可以对多层样品的各层进行分析和厚度测量。
观察／测量透明材料的各个层
多层模式可实现对透明样品的顶部的透明层进行观察和测量。即使在玻璃基片上覆有一层透明树脂层，也可测量出各层的形状和粗糙度以及表面覆膜的厚度。
LEXT 专用物镜
奥林巴斯激光共聚焦显微镜LEXT OLS4100技术规格：
| 主机 | |||
| LSM 部分 | 光源、检出系统 | 光源：405 nm 半导体激光 检出系统：光电倍增管 | |
| 总倍率 | 108x ～ 17,280x | ||
| 变焦 | 光学变焦1x ～ 8x | ||
| 测量 | 平面测量 | 重复性 | 00x: 3σn-1=0.02 µm |
| 正确性 | 测量值的±2%以内 | ||
| 高度测量 | 方式 | 物镜转换器上下驱动方式 | |
| 行程 | 10 mm | ||
| 内置比例尺 | 0.8 nm | ||
| 移动分辨率 | 10 nm | ||
| 显示分辨率 | 1 nm | ||
| 重复性 | 50x: σn-1=0.012 μm | ||
| 正确性 | 0.2 ＋ L/100 μm 以下（L＝测量长度μm） | ||
| 彩色观察部分 | 光源、检查系统 | 光源：白色LED， 检查系统：1/1.8 英寸200 万像素单片CCD | |
| 变焦 | 数码变焦1x ～ 8x | ||
| 物镜转换器 | 6 孔电动物镜转换器 | ||
| 微分干涉单元 | 微分干涉滑片：U-DICR， 内置偏振光片单元 | ||
| 物镜 | 明视场平面半消色差透镜5x、10x LEXT 专用平面复消色差透镜20x、50x、100x | ||
| Z 对焦部分行程 | 100 mm | ||
| XY 载物台 | 100×100 mm（电动载物台）， 选件: 300×300 mm（电动载物台） | ||
此设备为专为在工业环境下实施检测设计的A 类设备。如在住宅区内使用可能会干扰其他设备。
| 物镜 | ||||
| 型号 | 倍率 | 视场 | 工作距离（WD） | 数值孔径（N/A） |
| MPLFLN5X | 108x-864x | 2,560-320 μm | 20.0 mm | 0.15 |
| MPLFLN10X | 216x-1,728x | 1,280-160 μm | 11.0 mm | 0.30 |
| MPLAPON20XLEXT | 432x-3,456x | 640-80 μm | 1.0 mm | 0.60 |
| MPLAPON50XLEXT | 1,080x-8,640x | 256-32 μm | 0.35 mm | 0.95 |
| MPLAPON100XLEXT | 2,160x-17,280x | 128-16 μm | 0.35 mm | 0.95 |
高度测量
可以测量轮廓截面上任意两点之间的高低差异。
轮廓测量也同样可用
表面粗糙度测量
可以测量线粗糙度，以及平面整体的面粗糙度。
面积／体积测量
根据设置在轮廓截面上的任意阈值，可以测量其上部或下部的体积。
粒子测量 (选购件)
可以通过分离功能使粒子自动分离，设置阈值，根据ROI 设置检测范围。
几何测量
可以测量影像上任意两点之间的距离。还可以测量任意区域的面积。
膜厚测量 (选购件)
可以根据测出的对焦位置，测量透明介质的膜厚。
自动寻边测量 (选购件)
可以自动寻边，测量线宽和圆，减少人为的测量误差。
