全自动光谱椭偏仪：PH-ASE

                 
 
 
 
   全自动光谱椭偏仪(PH-ASE型)把使用者从烦琐的手动调节样品高度和倾斜度工作中解放出来，样品对准是为了保证椭偏仪测量的可重复性和精确性。已获得的自动样品对准装置能够显著减少操作失误；能够工作于透明或反射基底；能够进行地貌图测量，包括翘曲晶片。
 
 产品特点：
 ■ 全自动样品校准
 ■ 高测量速率 < 8秒
 ■ 消除了全波段范围内的盲点
 ■ 可测量透明和吸收基底
 ■ 高测量精度
 ■ 具有实验数据和模拟数据三维绘图功能
 ■ 友好的软件界面，强大数据分析功能
 ■ 具有实验数据和模拟数据三维绘图功能
 
 技术指标：
 ■ 光源：氙灯
 ■ 光斑直径：1-3mm
 ■ 入射角范围：20°到90°自动控制
 ■ 波长范围：350-850nm， 250-1100nm， 250-1700nm：0.002°~ 0.02°
 ■ 波长精度：1nm
 ■ 测量时间: < 8s （取决于测量模式和粗糙度）
 ■ 入射角度精度：0.01
 

 可选配：
 ■ CCD线阵列探测元件：200-850nm，350-1000nm
 ■ 样品显微镜
 ■ 高稳定性消色差补偿器
 ■ 透射测量架
 ■ XY移动样品台
 

 典型客户：
 美国，欧洲，亚洲及国内太阳能及半导体客户。