在产生等离子体的过程中，高频放电所产生的瞬间高能copy量能够打开某些有害气体分子的化学能，如：氨、硫化氢、甲硫氢、甲硫醇、甲硫.醚、二.甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC类，苯、甲苯、二甲苯的分子链结构，使有机或无机高分子恶臭化合物分2113子链分解为单质原子或无害分子。
等离子体中包含大量的高能电子、正负离子、搜索激发态粒子和具有强氧化性的自由基，这些活性粒子和部分废气分5261子碰撞结合，在电场作用下，废气分子处于激发态，当废4102气分子获得的能量大于其分子键能的结合能时，废气分子的分子键断裂，直接分解成单质原子或由单一原子构成得无害气体分子。同时产生的大量?OH、?HO2、?O等活性自由基和氧化性1653的O3，能与有害气体分子发生化学反应，后生成无害产物。
等离子体被称为物质第4形态，由电子、离子、自由基和中性粒子组成。低温等离子体有机气体净化器是利用等离子体。以每秒800万次至5000万次的速度反复轰击异味气体的分子，去电离、裂解废气中的各种成份，从而发生氧化等一系列复杂的化学反应，再经过多级净化，将有害物转化为洁净的空气释放至大自然。
低温等离子废气净化器工作原理是采用高压发生器形成低温等离子体，在平均能量约5eV的大量电子作用下，使通过净化器的有害物质如苯、甲苯、二甲苯等有机废气分子转化成各种活性粒子，与空气中的O2结合生成H2O、CO2等低分子无害物质，使废气得到净化。在处理过程中，当有机气体进入冷离子体反应室时，气体被均匀分配到等离子反应室（PRC）。反应室分成六边形管子，每根管子的中间有一根金属丝杆电极，与反应室独立隔开。通过高压线对反应室导通可调节高压，高压导通到管子里的金属丝杆电极上。由金属丝杆电极至管壁产生放电现象。一旦放电，等离子体电子就与气体分子相撞击，产生化学性活性核素，就是通常所说的激进和负荷载体。
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