日本Horiba STEC SEC-Z500系列气体质量流量控制器适用于提高工艺产量和简化零件管理。数字/模拟、DeviceNet™和EtherCAT通信都可用。
日本Horiba STEC SEC-Z500系列气体质量流量控制器产品简介：
SEC-Z500X是HORIBA的数字质量流量控制器模型。它具有多范围/多气体功能，使用户能够快速、方便地改变气体类型或现场全流量。
该质量流量控制器具有高精度+/-1.0%S.P、压电致动阀、高速响应和全金属特性，适用于提高工艺产量和简化零件管理。数字/模拟、DeviceNet™和EtherCAT通信都可用。
