SuperViewW三维光学轮廓仪测量仪部分参数
Z向分辨率：0.1nm
横向分辨率(0.5λ/NA)：100X~2.5X：0.5um~3.7um
粗糙度RMS重复性：0.1nm
表面形貌重复性：0.1nm
台阶测量:重复性：0.1% 1σ；准确度：0.75%
【功能强大，参数齐全】
粗糙度、平面度、孔洞分析等3D测量功能全部囊括，距离、角度、直径测量等2D轮廓分析功能覆盖，有依据ISO|ASME|EUR|GBT四大国内外标准的300余种特征参数。
【高重复精度，稳定可靠】
采用了扫描模块和内部抗振设计，可实现高0.05%的测量精度重复性和0.002nm的粗糙度RMS重复性。
【操作便捷，简单明了】
直观的操作界面，让您对操作流程一目了然，自动聚焦，助您一键实现测量过程；可视化的工作流程树，一键激活的图库管理功能，所见即所得的分析功能，有一键分析功能，批量测量不用愁。
【3D测量，一览无余】
采用白光干涉技术，结合具有优异抗噪性能的3D重建算法，真实还原样品的每一个细节，随意翻转缩放，轻松观察、测量样品的任意特征。
【广泛应用，贴心服务】
可测2D/3D轮廓、粗糙度，300余种特征参数……光学3D表面轮廓仪在半导体、精密加工及微纳材料等领域可得到广泛应用，光滑硅晶片表面粗糙度、精密非球面弧面线粗糙度、金字塔型磁头夹角、微透镜阵列曲率半径等。
SuperViewW系列三维光学轮廓仪测量仪采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和优异的3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高。广泛应用于如纳米材料、航空航天、半导体等各类精密工件表面质量要求高的领域中，可以说只有3d非接触式光学轮廓仪才能达到微型范围内重点部位的纳米级粗糙度、轮廓等参数的测量。
