瑞士Sawatec 匀胶机SM-150：手动涂胶的
匀胶机 SM-150 是手动或半自动薄膜涂覆的，适用于表面没有或有非常矮形貌的基板涂胶作业。所有市面上的光刻胶与涂层材料都可被均匀涂覆到尺寸为 150mm (6”) 127x127mm (5”x5”)的基板上。工艺腔设计可满足直径为 176mm。
SM系列的优点在于，具有令人信服的高度涂膜均匀性和工艺重复性，并且操作简单、使用舒适。为了使花费在工艺腔清洁上的精力最小化，SAWATEC 公司开发了一种极其实用且经济的工艺腔保护碗。工艺结束后，可以简单地移除和清理这种保护 碗。经由如此的高品质设计，也可以将维护成本最小化。因此，SAWATEC匀胶机可被优先应用于实验室，研发，试产项目以及研究所。
功能（基本配置）
。可编程，最多 50 个程序(各包含 24 个程序段)
。适用于重复工艺的快速启动功能
。触摸屏面板控制，方便用户程序配置工艺参数：转速、加速度、工艺时间旋转方向可选 (顺时针、逆时针)
。手动装卸基板
。通过具有安全保护的真空系统进行基板固定
。手动盖子带有空气入口和闭合安全保护工艺结束时的声音信号
性能数据
。速范围：0 到 10,000rpm +/-1rpm
。转速加速度：0–8,000rpm 为0.8秒/0–10,000rpm为1秒 1)
。减速度：10,000rpm-0 为2.5秒/8,000rpm-0 为0.8秒 1)
。工艺时间最长为 2376 s
。每个程序段的给胶时间为 99 s
附加功能（可选项）
。半自动的管式给胶系统，带有手动给胶手臂和回吸功能的
。工艺腔的手动氮气净化装置
。用于简化操作的“启动/停止”脚踏开关(电缆长度 1.8m)
。经阳极电镀处理的铝制工艺腔
。铝制或 PE(聚乙烯)材料制成的工艺腔保护碗用于 SM-150 匀胶机的真空泵
。晶圆定位器 2”–6”(圆形)
旋转卡盘分类
为了达成涂覆效果，我们提供了不同尺寸、材料和设计的旋转卡盘。根据用途的不同，可使用单块结构或具有光学辅助置中功能的两部分构成的旋转卡盘。为避免基板背面被弄脏，有时不仅要选择的旋转卡盘尺寸，还要采用专门的卡盘设计。旋转卡盘的更换过程非常简单，不需要使用工具。
。真空卡盘小片
。真空卡盘 1” 3”(圆形)
。真空卡盘 100mm(4”) 150mm(6”)
。真空卡盘 100x100mm(4”x4”) 真空卡盘 125x125mm(5”x5”) 其他卡盘需咨询
设计和尺寸
。桌上式版本 SM -150-BT，
。内嵌式版本 SM-150-BM
。紧凑且节省空间的结构形式
。POM(聚甲醛树脂)材料制成的工艺碗，确保了高材料兼容性
。POM(聚甲醛树脂)材料制成的集成式防溅环，确保无光刻胶溅出。透明盖板：玻璃制成
。具有 3.5” 彩色显示屏的触摸屏面板
。高精度，高动态的交流伺服电机
。经电解抛光处理的不锈钢外壳
。外壳(BT): 350 x 510 x 403mm (长*宽*高）
。重量(BT): 约 29kg
。安装模块(BM): 300 x 300 x 368mm (长 x 宽 x
。安装面板 320 x 166 x 50mm ( 长 x 宽 x
。重量(BM): 约 20kg
接口
。230 VAC 50/60Hz 10A
。脚踏开关用插头接口
。技术真空，软管 Ø6/4mm(-0.8bar)
。压缩空气或氮气软管Ø6/4mm(3bar) (于和给胶系统配合使用)
。排放接口 Ø12mm
。BT 废气接口 Ø38mm(20–50m3/h) BM 废气接口 Ø25mm(20–50m3/h)
