派克veriflo部门的F9系列超高压止回阀提供改进的性能和兼容性，具有非对称弹簧设计一直安静的操作和低流量的限制与竞争。F9两密封材料满足所有半气体相容性的要求，降低客户库存，满足更广泛的应用。组装和封装在一个类100级洁净室，F9系列产品是为超高纯度半导体行业应用设计的。
市场：
• 半导体晶圆厂
• 天然气公司
特点/好处：
• 无噪音操作与非对称弹簧设计
• 焊接设计减少足迹
• 100级洁净室组装和包装
• 电解抛光（EP）的超高纯度应用版本
• vericlean™ 316L不锈钢电解抛光和腐蚀性能提高
应用：
• 阀门歧管箱/板
• 煤气柜
• 气棒
• 工具挂钩
性能特点：
| 阀体材料 | 非常清洁的316L不锈钢材质 | |
| 弹簧材料 | 非磁性合金，当量 | |
| 密封材料 | 氟碳弹性体（氟橡胶） 全氟弹性体（全氟橡胶） | |
| 提升阀的材料 | 316L 不锈钢 | |
| 停止限幅材料 | 316 不锈钢 | |
| 流体容量(Cv) | Cv值0.45 (X 0.89) (1/4" 短管) - Cv值0.90 (X 0.78) (1/4" & 1/2" 面密封) - Cv值0.90 (X 0.78) (3/8" & 1/2" 短管) | |
| 内部泄漏率 | 气密 | |
| 外部泄漏率 | 外部泄漏率为 1 x 10-9 scc/sec（内侧的试验方法） | |
| 表面处理（RA) | 省略（10 RA钝化（STD），黄金标签（EP）7 RA的电解抛光，蓝色的标签） | |
| 内部容积（毫升） | 0.14立方英寸（2.29cc)(1/4"端面密封)（外） | |
| 重量（磅） | 0.15（1/4"面密封（外））-0.07（1/4"短管） | |
| 重量（盎司） | 2.4（1/4"面密封（外））-1.2（1/4"短管） | |
| 入口压力（psig) | 3000 psig（ 氟碳弹性体，氟橡胶）- 1000 psig（全氟，全氟橡胶） | |
| 入口压力（barg) | 260公斤（氟碳，氟橡胶）-68公斤（ 全氟弹性体 ，全氟橡胶） | |
| 背压（psig) | 3000 psig（ 氟碳弹性体，氟橡胶）- 1000 psig（全氟，全氟橡胶） | |
| 背压（barg) | 260公斤（氟碳，氟橡胶）-68公斤（ 全氟弹性体 ，全氟橡胶） | |
| 开启压力(bar) | 0.13 | |
| 开启压力(psi) | 2 | |
| 复位压力(psig) | ≤ 2 | |
| 复位压力(barg) | ≤ 0.13 | |
| 工作油温（C) | 66°C | |
| 工作油温（F) | 150°F | |
| 工作油温（C) | -23°C | |
| 最小工作温度（F) | -10°F |
