产品介绍
名称 | 大型等离子清洗机 |
型号 | TS-PL700MA |
外形尺寸(W×D×H) | 1400×650×800mm |
反应腔尺寸(W×H×D) | 2300×1250×1850mm |
真空腔体材料 | 进口316L不锈钢 |
真空泵 | 进口品牌、二级泵 (干泵+罗茨组合) (油泵+罗茨组合) |
角阀 | Youch 超高真空60KF |
流量控制仪及显示仪 | Sevenstar 0-800ml/min |
真空显示规管及读取器 | Pirani |
射频电源 | 美国进口品牌40KHZ 13.56MHZ |
PLC系统 | 三菱(包括PLC,A/D模组两组,D/A模组两组,温度模块) |
电器系统 | 施耐德 |
变频器 | 西门子2KW |
触摸屏 | 中国台湾威纶真彩10.7寸 |
陶瓷封装 | 进口高频陶瓷 |
处理气体 | O2、Ar2、N2,H2、CF4 |