brooksinstrument高温质量流量控制计5850EMH / 5851EMH的介绍
brooksinstrument高温质量流量控制计5850EMH / 5851EMH的介绍
5850EMH 系列高温金属密封质量流量控制器结合出色的金属密封泄漏完整性，为高温气体测量和控制提供了先进的性能，具有多种选择，允许最大的应用灵活性。5850EMH 系列的核心是高稳定的传感器，其提供与流速线性相关的电气输出信号。该信号用于指示、记录和/或控制目的而无需自动归零电路。
特点
高泄漏完整性（小于 10-11 Pa.m3/s (10-10 atm.cc/s) He）
宽流速范围（0.003 - 100 slpm）
高纯度 VAR 316L 不锈钢
无磨粒
氦泄漏检查端口
常闭阀（可选常开阀）
电致动阀复位
低命令流量断流
TTL 兼容"关阀"功能
优势
稳定、可靠的产品平台
高流量，高达 100 lpm（N2 当量）
全金属流路提高气体纯度及减少泄漏
仅使用模拟输入/输出容易安装和维修
应用
光纤制造——MCVD，OVD，AVD
水汽流量控制
| 5850EMH | 5851EMH | |
| 流量范围-满量程容量 | 3 sccm - 30 slm (N2 equivalent) | 10 - 100 slm (N2 equivalent) |
| 精度 | ±1% FS | ±1% FS |
| 重复性 | < ±0.25% of SP | < ±0.25% SP |
| 响应时间-常闭 | 3 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91) | 3 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91) |
| 模拟通讯 | 0-5 Vdc | 0-5 Vdc |
