分析性能
●表面元素定性、定量分析
能量分析器设计和双晶微聚焦单色化X射线源结合，实现了能量分辨率
●快速高分辨平行成像
化学成像: 空间分辨率优于1um
回溯成谱: 回溯区域优于6um
●无需背底修正探测器
电子倍增器和电阻阳极探测器的双探测器设计，可实现高性能的XPS采谱和高空间分辨的XPS成像的需求。
空间连续的电阻阳极探测器创新技术，使得XPI成像分辨率达1um，同时所得数据无探测器背底特征，无需背底校正，直接得到微米尺度分辨的定量元素分布成像结果。
●微聚焦单色源
分析尺寸在20μm～900μm之间连续可调
灵敏度和能量分辨率
提供不少于20个靶材工作点，确保仪器终身使用过程中阳极靶无需更换
●自动化高效离子剖析源
新型Ar离子团簇与传统单粒子离子源相结合，用于各类材料的深度剖析研究
●高精确度角分辨XPS
软件控制分析位置和角度，确保数据的精确性和重复性
全套的ARXPS数据处理工具，可对纳米尺度的多层结构器件进行层厚计算
●一键式荷电补偿
配有双束电荷中和系统，可以根据实际样品的需要独立控制开启。
适用于所有不导电样品及粗糙表面的荷电中和
●强大的Avantage分析软件
全数字化仪器控制
系统软件可视化操作
全套XPS标准数据图库以及化合物结构鉴定数据库
自定义数据采集到报告生成模式
操作简便
●高度自动化
分析区域和角度分辨可选
自动化气体调节和真空控制
●随时校准
能量标尺和仪器功函数的校准
离子枪定位和离子束聚焦
●鼠标点击式样品导航
实时显示分析位置
高照明强度、强度可调
设计灵活
●ISS、ARXPS与REELS为标准配置
●多功能进样室为标准配置
●UPS和EDS/AES/SEM/SAM/可选
●可选的样品预处理附件，包括：
样品制备台、晶体清洁器、样品刮片器
样品加热/冷却装置
溅射清洁离子枪
蒸发器
高压反应室
