MM3A-EM探针站包括多达八个MM3A-EM微操作器，与我们的X和Y方向行程为30mm的远程子阶段相结合。子阶段可以选择性地配备位置编码器，可产生50nm的重复性。另一个选项是添加一个范围为3 mm的Z轴。
整个平台可以在短短几分钟内安装在SEM的载物台上，也可以很容易地将其移除，以使显微镜恢复到以前的状态。
MM3A-EM微操作器配备了低电流、低容量的测量能力，并与探测工具硬件和软件套件兼容，包括带电接触测试仪和电子束感应电流成像模块等。
该平台还可以安装温度高达450°C的加热台。其他定制可根据要求提供（e，g，集成LED照明）。
- 紧凑灵活
-易于安装和拆卸，具有高度灵活性
-带模块化组件的即插即用系统
-大多数SEM/FIB仪器的接口解决方案
-快速设置
-大样本的充足空间
-大工作范围（30 mm x 30 mm子阶段行程）
-开创性的布线技术
- 清晰简单
-直观的控制界面和软件
-用户友好且易于学习
-快速简便的探针头更换
-紧凑、独立的电子设备
-使用多个操纵器轻松工作
- 坚固稳定
-好的稳定性
-低漂移（1纳米/分钟）
-可靠运行（一年耐久性试验）
-几乎不受振动影响
-手动快速预定位
- 快速准确
-高操作速度（高达10毫米/秒）
-亚纳米分辨率（0.25纳米）
-无齿隙或反向间隙
-广泛的工作范围
-一个驱动器中的粗排量和细排量
- 总高度：31毫米
- 总宽度：180毫米
- max样本尺寸：70 mm-70 mm，max高度10 mm
- 重量：~1200克
三轴微型操作器
A=左/右B=上/下C=进/出
- 工作范围：A=240°，B=240°，C=12mm
- 分辨率A:7 x 10–9 rad（0.5 nm）
- 分辨率B:7 x 10–9 rad（0.2 nm）
- 分辨率C:<0.05 nm
- 低漂移：1纳米/分钟
低容量、低电流测量
- 噪音：25 fA@1 Hz
- 绝缘泄漏电流：<50 fA/V
- 信号导体电阻：<5Ω
- max电压：100 V
- max电流：100 mA
变电站
- 行程X和Y：28.5毫米
- 速度：highest 2 mm/s
- 分辨率：＜0.5 nm
- 重复性：50 nm（可选）
- 角度偏差：<1µrad
- 负载：500 g
- 可选Z驱动范围：3毫米
- Z提升能力：25 g
- 温度范围：273 K至353 K
- 特高压版本：273 K至393 K
- min压力：10-7毫巴
- 超高压版本：2 x 10-10毫巴
- 变电站安装：4 x 3.2 mm孔
- 样品安装：夹子或2 x M3孔
产地：德国
- 纳米抛光
- 故障分析
- 低电流晶体管测试
