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爱德华edwards半导体干式真空泵iH80 干式泵

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具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称昆山熙日机械设备有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2023/5/22 8:08:42
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昆山熙日机械设备有限公司是由一批长期服务于某外企的骨干精英组建而成,注册资金100万,自公司成立起一直致力于真空设备及配件的研究、生产、推广、销售、 安装及维修领域。本公司经过多年不懈的努力,已拥有一支专业的IT研发 人员和全面的销售网络,所经营的产品国内外,现已与国内外多家大型企业保持着长期的合作关系,本公司产品以质量优良、操作简单、性价比高及周到的售后服务等广受市场好评,使得公司的效益得到迅速发展,为公司的长远发展打下牢固的基础。公司主要经营:真空泵、直空泵油、真空计、检漏仪、流量计、镀膜机、真空零配件、镀膜机耗材等,以及实验室仪器,实验室耗材和其他工控产品。产品广泛适用于:电光源、真空镀膜、机械、光盘、冶金、石油、化工、造纸、食品、医药、电子、电、陶瓷、玻璃、电路板、引水、印染、制糖、制冷设备、工艺吸塑、科研、干燥及汽车维修等单位。售后服务:公司拥有专业的维修技术人员及*的检测设备,并长期提供真空泵技术指导及修理、维护、保养、检测、咨询等服务;服务承诺:凡在本公司所购真空设备,均享有一年免费保修期, 并终身提供技术支持。公司坚持“以诚为本、信营至上”为宗旨,不断创新改进,完善售后服务网络。我们以秀的产品, *的质量,惠的价格,质的服务,愿同各界朋友互相合作,开拓美好的未来。
iH高真空干泵爱德华edwards半导体干式真空泵iH80干式泵我们的iH干泵为高难度的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品)提供高度可靠、成本低廉的泵解决方案
爱德华edwards半导体干式真空泵iH80 干式泵 产品信息

iH 高真空干泵  爱德华edwards半导体干式真空泵iH80 干式泵

我们的 iH 干泵为高难度的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品) 提供高度可靠、成本低廉的泵解决方案。iH 系列 具有五级主泵,使用创新的悬臂式转子、爪式和罗茨 设计,可改善粉尘的处理,减少排气噪音。此外,iH 系列泵配有一台单级机械增压泵和 封闭的水冷却电机。

     

Standard_Body_Image_iH

应用
功能与优势
泵系列

概述

Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明,可以按照Z高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率,同时地减小占地面积、降低运行成本,实现了高的可靠性和性能。
  

iH 系列为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。

EdwardsIH80_10.jpg

应用

  • 负载锁

  • 输送

  • 计量

  • 平版印刷

  • PVD 制程

  • PVD 预清洁

  • RTA

  • 剥离/灰化

  • 刻蚀

  • 植入源

  • HDP CVD

  • RTP

  • SACVD

  • MCVD

  • PECVD

  • LPCVD

  • ALD


有关任何特定应用条件下 iH 系统稳定性的建议,请与 Edwards 联系。
a - iH80 干式泵 460V,60 Hz,3 相

iH80 干式泵 460V,60 Hz,3 相

A
a - iH80 干式泵 200/208V,50/60 Hz,3 相

iH80 干式泵 200/208V,50/60 Hz,3 相

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a - iH80 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相

iH80 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相

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a - iH80 干式泵 230V,60 Hz,3 相

iH80 干式泵 230V,60 Hz,3 相

A

功能和优势

  • 优化了设施消耗。

  • 无需预防性维护。

  • 悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。

  • 在节省电机功率的同时提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。

  • 耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。

  • 较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。

  • 整体式轴杆无需使用电机联结器,而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积,从而降低了总体占地面积。

技术数据

峰值速度103 m3h-1

61 cfm

1717 l min-1
极限真空1 x 10-2 mbar

7.5 x 10-3 Torr

1 Pa
典型轴封氮流量4 slm
进气口连接ISO63
出口连接NW40
15 psi 压降下典型冷却水流量120 l h-1

2 l min-1
重量240 kg
极限功率输入2.7 kW
电机额定功率3.5 kW
油容量0.7 l

  
所有数字均为无气镇时的典型值。


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