iH 高真空干泵 爱德华edwards半导体干式真空泵iH80 干式泵
我们的 iH 干泵为高难度的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品) 提供高度可靠、成本低廉的泵解决方案。iH 系列 具有五级主泵,使用创新的悬臂式转子、爪式和罗茨 设计,可改善粉尘的处理,减少排气噪音。此外,iH 系列泵配有一台单级机械增压泵和 封闭的水冷却电机。
应用
功能与优势
泵系列
概述
Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明,可以按照Z高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率,同时地减小占地面积、降低运行成本,实现了高的可靠性和性能。
iH 系列为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。
应用
负载锁
输送
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
刻蚀
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
有关任何特定应用条件下 iH 系统稳定性的建议,请与 Edwards 联系。
技术数据
峰值速度 | 103 m3h-1 |
61 cfm | |
1717 l min-1 | |
极限真空 | 1 x 10-2 mbar |
7.5 x 10-3 Torr | |
1 Pa | |
典型轴封氮流量 | 4 slm |
进气口连接 | ISO63 |
出口连接 | NW40 |
15 psi 压降下典型冷却水流量 | 120 l h-1 |
2 l min-1 | |
重量 | 240 kg |
极限功率输入 | 2.7 kW |
电机额定功率 | 3.5 kW |
油容量 | 0.7 l |
所有数字均为无气镇时的典型值。