产品简介：
1.在真空条件下，通过射频放电，让气体活化发生化学反应，在基板表面沉积形成薄膜。
2.成膜种类：SiO2，SiNx ，SiON。等离子增强型，膜质好，均匀性高，Load-lock，托盘式，多基板尺寸，2inch-8inch 兼容
产品特性：
• 等离子增强型化学气相沉积设备
• 用于SiO2,SiN的高精度薄膜沉积
• 膜层应力稳定,可调范围广泛
• 可换托盘式,基板尺寸切换简便
• 2～12inch,方片,未定型片兼容
产品应用：
• 功率器件，LED，光通信/传感器
• 高校及研究所等
青岛益嘉元科贸有限公司是国际设备和仪器的综合服务商。公司拥有一支行业经验的专业团队，特别是半导体领域和真空领域，为家电，制冷，半导体，汽车，航空，轨道，机械，化工，科研等行业的客户提供新技术的工业解决方案，并为实现自动化，更高精度和更快效率进行不断地技术创新。? 创立于2017年， 经过多年的不懈努力，公司现已经成为一家专业从事IT产品开发、生产和销售的高科技企业。公司成立几年来，一直致力于工控/服务器机箱及各种非标箱体的开发与生产，产品现广泛应用于计算机网络、监控、安防、广电、通讯和仪器设备等多种行业，公司设计生产的多种标准及非标产品，成功地替代了多种进口产品，为 用户极大地降低了成本，也为我们的民族事业做出了我们的一份贡献！
PECVD设备 CX-500z 产品信息
关键词：传感器
