光离复合有机废气处理设备利用高能臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，因游离氧所携正负电子不平衡，所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。臭氧对紫外线光束照射分解后的有机物具有的氧化作用，对恶臭气体及其它刺激性异味有良好的消除效果。利用效能高UV光束裂解恶臭气体中细菌的分子键，破坏细菌的核酸( DNA) ，再通过臭氧进行氧化反应，达到有机废气处理中的脱臭及灭菌的目的。
有机气体进入到装有特殊频段的效能高紫外线灯管的 UV 效能高光解氧化模块的反应腔后，高能 UV 紫外线光束及臭氧对有机气体进行协同分解氧化反应，使异味气体物质降解转化成低分子化合物、水和二氧化碳。未能有效去除的有机废气再经后道活性炭吸附装置吸附，根据项目运行监测情况来看，整套废气处理设备对VOCs的去除效率可达到 95% ，对臭气浓度的去除率可达到%。特制UV紫外线灯：利用特制的高能高臭氧UV紫外线光束照射废气，裂解工业废气如：氨、三甲胺、硫化氢、甲硫氢、甲硫醇、甲硫醚、乙酸丁酯、乙酸乙酯、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC类，苯、甲苯、二甲苯的分子链结构使有机或无机高分子恶臭化合物。
