六硼化镧扫描电子显微镜

性能指标

1. 电镜分辨率: 2.0nm @ 30kV；5.0nm @ 3kV
2. 加速电压: 200V～30kV
3. 束流大小: 1pA-2μA
4. 景深：可达7mm
5. 电镜检测器: 高真空二次电子检测器(SE)、马达驱动可伸缩式背散射电子探测器(BSE)（用于高真空和低真空）、低真空二次电子探测器（LVSTD, up to 500 Pa）样品室红外CCD探测器。
6. 能谱： Oxford AZtec MaxN-80 

主要应用

1. VEGA 3 – XMU (LaB6)型扫描电子显微镜兼具高、低真空两种模式，适用于导电材料和非导电材料表面形貌的观察，获得表面形貌的二次电子像、背散射电子像。
2. 拥有加强景深显示模式，景深可达7mm以上，专门用于观察高低落差大的样品，比如金属断口、失效分析等。

样品要求

1. 样品不得为具有磁性的粉末，并且不易被磁化，粉末中不得含有铁（Fe）、钴（Co）、镍（Ni）。
2. 样品中不得含有水分。
3. 样品高度小于80mm，直径小于130mm。
4. 多孔类或易潮解的样品，请提前真空干燥处理。
5. 样品应具有导电性。若样品不导电，需要进行镀金、碳等导电膜的处理（本中心也提供镀膜服务，但需要另行收费）。

仪器说明

1. VEGA 3 XMU (LaB6) 采用介于肖特基与钨灯丝性能之间的LaB6（六硼化镧）作为电子发射源。
2. LaB6的优势包括：比场发射电子源更稳定的电子发射源，在阴极较低温度下可获取比钨灯丝电子源更高的束流，因此在各个不同加速电压下和整个使用寿命中，LaB6都可以保持很高的亮度和分辨率。
3. 配备能谱，可做常规元素分析。