ZEISS 高分辨电子扫描显微镜-EVO 10,具备自动化工作流程的高清晰扫描电镜
技术规格
设备主要部件及技术要求：
该项目的设备必须是全新设备且整体进口（包括所有零部件，元器件和附件等），满足各自的技术指标和性能，其性能应达到水平，可靠性好，性能稳定，控制精度高，使用、操作和维修方便，售后服务优良，必须在河南地区常驻有售后工程师以方便后期维护。
1、基本要求
电子光学系统
.1 发射源：钨灯丝；
.2 分辨率：高真空二次电子像 ≤ @30kV≤ @3kV低真空背散射电子像 ≤（30kV）；
.3 加速电压范围：200V－30kV，10V 步进连续可调；
.4 放大倍数范围不小于：7X－1,000,000X，连续可调；
*.5 探针电流范围： pA~5μA，连续可调；
*.6 电子束控制模式不少于以下几种控制模式：分辨率模式、分析模式、大视野模式、大景深模式和鱼眼模式；
*.7 分析工作距离不大于 且分析工作距离下的视野范围不小于 6mm，普通模式下视野范围不小于 20mm；
真空系统
.1 抽真空系统：涡轮分子泵 + 机械泵，不需要冷却水
.2 样品室真空度：优于优于 3 x 10-4 Pa
.3 抽真空时间：≤3 分钟
样品室及样品台
.1 样品室内部尺寸不小于 310mm（直径）×220mm（高）；3
*.2 可放置的样品尺寸和承重：样品直径不小于 230mm，高度不小于 100mm，样品台承重不小于5kg；
.3 配备探测器：高真空二次电子探测器，背散射电子探测器，样品室红外 CCD 摄像装置
*.4 配置五轴马达驱动样品台：样品台马达移动范围：不小于 80mm（X 方向），100mm（Y 方向），35mm（Z 方向），-10°~ 90°（倾斜），360°（旋转）
.5 样品台类型：全电动 5 轴马达驱动样品台，双轴摇杆操作系统；
.6 样品台具有接触报警与自停功能;
*.7 马达台重复精度不低于 2um；
图像处理系统
.1 配套计算机系统：不低于 CPU P4 ，RAM 512Mb，硬盘 120Gb，软盘驱动器 4Mb，光盘刻录机，24″液晶显示屏，键盘，鼠标，USB 接口
.2 显示图像分辨率：不小于 1024×768 像素
*.3 单幅图像存储图像分辨率：不小于 32k×24k 像素
.4 存储图像格式：TIFF、BMP 与 JPEG
控制系统
.1 配置 Windows 操作系统
.2 配置专业的电子显微镜控制软件
.3 自动功能：自动电子枪启动，电子枪自动对中，自动偏压调整，自动和手动聚焦，聚焦补偿，动态聚焦，旋转补偿，自动消像散，图像降噪处理。
.4 图像采集：像素平均、帧平均、帧积分、行平均、行积分；
.5 显示器：24″高对比度彩色平板显示器；
.6 显示方式：全屏显示、分屏显示、灰度直方图、轮廓方式、伪彩色；
.7 图像注释与数据区：提供标准数据区和定制数据区，可在图片上显示各种电镜参数和字符。
.8 状态菜单：显示各种工作
.9 测量功能：可对图像中的形貌进行点间距、角度、直径等测量。
能谱仪系统
.1 功能：用于材料的微区成分定性、定量分析。
.2 配置电制冷能谱仪，能谱仪窗口面积不小于 30mm2，能量分辨率(600000CPS) Mn-Ka 优于129eV；
.3 元素分析范围：Be4～CF98；
.4 能谱仪处理单元与计算机采用分立式设计，单探测器输出计数率优于 600,000CPS，可处理计数率1,500,000CPS；4
.5 可将电镜图像传输到能谱仪的显示器上，并以该图为中心做微区分析，实现点、区域定性定量分析，以及线扫描和面分布功能；
.6 系统配置专业能谱仪数据处理工作站；
离子溅射仪
.1 玻璃处理室：直径不小于 100 毫米，高度不小于 130 毫米；
.2 试样台尺寸：直径不小于 40 毫米可同时放 6 个样品杯；
.3 靶尺寸：直径不小于 58 毫米；
.4 真空系统：直联旋片真空泵 1 升/秒；
.5 真空检测：皮氏计；
.6 真空保护：20Pa 配有微量充气阀调节工作真空；
.7 工作室工作媒介气体：空气或氩气，配有氩气专用进气口和微量充气调节；
.8 配置：内置一块金鈀。
2 、产品配置要求
为达到上述技术指标，投标产品应配置必要的硬、软件。投标产品不低于以下配置：
扫描电子显微镜 1 套；
RS232 能谱仪智能通讯接口 1 套；
电制冷能谱仪 1 套；
空气压缩机 1 套；
样品室内全自动控制红外 CCD 相机 1 套；
二次电子探测器 1 套，背散射电子探测器 1 套；
样品束流检测器或者束流检测皮安表 1 套；
不间断稳压电源 1 套；
碳导电双面胶带 2 卷和灯丝 1 盒（10 支）；
更简单、更智能、整合性更高
智能化成像 – 性能高效
EVO 能够提高制造和质量控制领域的工作效率。试想一下，将典型的工作流程从 400 多步操作简化为 15 步，以三种不同的放大倍率在 9 个样本上对感兴趣的 4 个点进行成像。智能化系统能够自动完成光路对中、调节放大倍率、聚焦和移动载物台 – 一切都为最终的图像采集，系统会根据所选的样品设置成像条件。通过易于操作的click-stop 按钮控制镜筒中间的光阑孔，从而获得可靠且重复性高的检测结果。
的表面成像能力
您可以在低电压下利用高分辨背散射电子探测器（HD BSD）实现具有清晰衬度的表面细节成像。针对电子束敏感样品或表面形貌分析，电子束减速技术能够提高分辨率及增强表面细节信息。成像过程中的漂移校正有助于进一步提高边缘分辨率。EVO 系列可提供包含高性能 HD 束源在内的三类电子束源技术，通过组合应用开创图像质量全新标准。
环境电子显微镜技术
EVO LS 可在不同温度、压力和湿度条件下观察生命科学样品及材料样品的纳米级信息。使用EVO LS 能获得细胞、植物和生物在自然水合状态下的细节信息。分析材料性能，如耐蚀性、耐热性及涂镀性能。EVO LS 型环境扫描电镜能在高达 3000 Pa 的压力下获取高品质图像，轻松完成含水样品的成像，同时利用计算机控制环境条件，以避免出现脱水假象。
