电感耦合等离子体质谱仪的工作原理
电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)工作原理是根据被测元素通过一定形式进入高频等离子体中，在高温下电离成离子，产生的离子经过离子光学透镜聚焦后进人四极杆质谱分析器按照荷质比分离，既可以按照荷质比进行半定量分析，也可以按照特定荷质比的离子数目进行定量分析。该类型质谱仪主要由离子源、质量分析器和检测器三部分组成，还配有数据处理系统、真空系统、供电控制系统等。
常用的进样方式是利用同心型或直角型气动仪器产生气溶胶，在载答气载带下喷入焰炬，样品进样量大约为1ml/min，是靠蠕动泵送入仪器的。
仪器将溶液样品送入等离子体光源，在高温下汽化,解离出离子化气体,通过铜或镍取样锥收集的离子,在低真空约帕压力下形成分子束,再通过1～2毫米直径的截取板进入四极质谱分析器，经滤质器质量分离后，到达离子探测器，根据探测器的计数与浓度的比例关系,可测出元素的含量或同位素比值。
电感耦合等离子体质谱仪的性能优点
(1) 通过谱线的质荷之比进行定性分析;
(2) 通过谱线全扫描测定所有元素的大致浓度范围，即半定量分析，不需要标准溶液，多数元素测定误差 小于20%;
(3) 用标准溶液校正而进行定量分析，这是在日常分析 工作中应用为广泛的功能;
(4) 同位素比测定是ICP-MS的一个重要功能，可用于地 质学、生物学及中学研究上的来源的研究 及同位素示踪。
ICP-MS基本原理
样品进行ICP-MS分析时一般经过以下四步：
1）分析样品通常以水溶液的气溶胶形式引入ya气流中,然后进入由射频能量激发的处于大气压下的ya等离子体中心区；
2）等离子的高温使样品去溶剂化、汽化解离和电离；
3）部分等离子体经过不同的压力区进入真空系统,在真空系统内,正离子被拉出并按其质荷比分离；
4）检测器将离子转化为电子脉冲,然后由积分测量线路计数；电子脉冲的大小与样品中分析离子的浓度有关,通过与已知的标准或参比物质比较,实现未知样品的痕量元素定量分析。
