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芬兰Picosun 原子层沉积机P-300S Pro ALD

参考价面议
具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称深圳市科时达电子科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       号P-300S Pro
  • 所  在  地
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2023/6/16 19:02:31
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深圳市科时达电子科技有限公司创建于2011年,经过十年的发展,已经成长为一家专注于电子材料、半导体仪器设备、医疗设备三大产品领域的,是一家集研发、制造、销售为一体的企业。我们的主营业务涉及了研发销售及加工电子材料及周边产品;电子光电产品设备研发组装及销售,半导体仪器设备销售;国内贸易、货物及技术进出口;医疗器械研发及销售;医用耗材及医疗用品的销售等。科技创新是科时达公司的核心竞争力。我们拥有一支高度专业化的技术研发和管理团队,建立了国内的实验室和光电研究中心,与多家科研机构与大专院校开展“产、学、研”合作,成功开发出一系列具有高科技含量的市场产品,公司产品通国内科研机构的产品认证。同时,公司拥有电子信息领域相对完备的科技创新体系,在电子装备、医疗设备、产业基础、网络安全等领域占据技术主导地位,肩负着支撑科技自立自强、推进国内科技现代化、加快数字经济发展、服务社会民生的重要职责。聚焦“三大定位”主责,科时达公司按照“做优电子装备、做大仪器设备、做精产业基础、做强研发销售”的总体布局,持续优化核心业务体系,推动企业在科技现代化建设、现代产业体系建设的核心关键技术节点上“布点”,在产业链价值链创新链关键环节上“成线”,在关系国家、国民经济命脉和国计民生关键领域上“控面”。做强电子装备,重点发展利用声、光、电磁信号进行信息感知、传输、运用等的系统级装备和产品,打造全域多维一体新一代电子装备,不断夯实在高校科研领域和高科枝企业的提供地位。做大仪器设备,重点发展半导体仪器基础设施和医疗设备应用与整体解决方案,全面支撑基于网络信息体系的联合和全域能力提升、国家治理能力提升和数字化发展。做精产业基础,重点打造形成电子基础产品科研和生产的基础支撑能力,以夯实产业链供应链自主可控能力为根本目标,推动以“科时达基因”为核心的销售集群式发展。做强研发销售,致力于电子产品的研发。科时达公司是一家,多年来公司研发团队致力于电子材料、半导体仪器和医疗设备的研发。同时企业还致力于将产品做好国内外市场销售,在整体销售模式中具备一套完整的销售体系。以客户需求为导向,以质量求生存,科时达公司以超凡的品质和优良的服务,获得国内外市场的一致认可;公司营销网络覆盖,产品世界各地,目前已经成为国内电子科技行业中重要的生产制造基地。
芬兰Picosun原子层沉积机P-300SProALD技术参数工艺温度:50-500°C衬底尺寸和类型:300mm晶圆/单片基片传送选件:
芬兰Picosun 原子层沉积机P-300S Pro ALD 产品信息

芬兰Picosun 原子层沉积机P-300S Pro ALD



技术参数



工艺温度: 50 - 500 °C



衬底尺寸和类型 :300mm晶圆/单片



基片传送选件:

。 半自动装载,用单片Load lock与磁力操纵杆实现
。25片晶圆盒对盒式全自动装载(cassette-to-cassette),用PICOPLATFORM™ 300集群系统实现


标准 :SEMI S2认证


前驱体:

。液态,固态,气态,臭氧源
。等离子体(仅供200mm晶圆使用,最多4路气体)
。前驱源余量传感器,并提供清洗和装源服务
。6条独立源管线,最多加载8个前驱体源(最多12个前驱体源,加上plasma管路共7根独立源管线)


重量:820 kg


尺寸:(W x H x D) 160 cm x 80 cm x 240 cm


选件: 集群工具,PICOFLOW™扩散增强,N2发生器,尾气处理,定制设计,与工厂软件连接服务。


验收标准 :

。标准设备验收标准为Al2O3工艺,
。其他工艺可具体协商:其他工艺、应用具体验收标准如:
- 不均匀性
- 颗粒物含量
- 重金属污染
- 电学性能


关键词:传感器
15700104732
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