序号

品名

型号

数量

品牌

生产厂家

产地

1

匀胶机

KW-4T

1

中科院

中科院微电子所

中国

2

备注：  1.含1%的发票              2.含运费                 3.质保1年

序号

项目名称

详细参数

1

主要应用

广泛应用于半导体，集成电路，材料，微光学，生命科学，凝聚态物理，化学等科学研究与生产，可用于硅片/载玻片/化合物镜片/ITO/导电玻璃等各种基底材料的表面处理和涂覆。

2

主要特点技术规格

1.转速 300-9000 RPM

2.转速稳定性  1RPM

3.旋涂均匀性  <1%（片内）；<1%（片间）

4.基片尺寸 Φ5-Φ100mm圆片，100mm×100mm方片

5.程序控制 全触摸屏操作，快速启动，人性化界面，6步工艺调速设计，0-1800s时间可调，6.专业用户的的需求

7.整机尺寸 280×220×160（mm)

8.工艺支持 依托中科院微电子所工艺平台，提供微纳加工工艺支持

9.适应材料 适合硅片、玻璃、石英、金属、GaAs，GaN，InP等各种材料，工艺服务

10.特殊夹具定制   20年特殊夹具设计经验，匹配超薄、异形、脆性易碎样品

11.电机功率   40W

3

真空泵

型号：KW-550A/T   抽速：>1.5升/秒  功率：300W    噪音：55db    电压：220v/50Hz 真空度：-700mmHg 重量：7.3Kg 外形尺寸（mm):250*130*225

4

基本配置

主机（电源线、说明书、3种样品片托） + 真空系统（电源线、8mm气管2.5米+消音器+说明书）