Nikon L200高倍金相显微镜专为8寸晶圆及大面板LCD/TFT产业开发设计。同样采用的CFI60无穷远高对比度光学系统将尼康的CF(消色差)设计与无限远光学系统结合在一起,使得物镜不仅工作距离更长,而且数值孔径更高,并提供高达25mm的广阔视野。
Nikon L200高倍金相显微镜的特点:
一可以观察的硅片直径为200mm,观察倍率15X~3000X(视目镜和物镜的组合而定);
二,物镜齐焦距离为60mm,可以兼顾高数值孔径和长工作距离两方面的要求;
三,主机刚性高,具有很好的抗振性能,具有防尘、防污染、防静电功能;
四,光亮调节、光阑调节、物镜转换等操作都集中在前面,使用方便,即使长期操作也不易产生疲劳;
五,可以与尼康的硅片输送机配合使用,提高硅片检测效率。
六, <微分干涉套> 全体物镜共用物镜转换器内的诺曼斯基棱镜,结构简单,成象质量高。
L200D显微镜现有的配置:
主体 | 透反射光主体,透射光内置 |
调焦机构 | 调焦高度:29mm,粗调1圈:,微调1圈:,每小格:1um; 样品高度:13mm |
目镜 | CFI目镜系列:CFIUW 10X/25; |
照明系统 | 反射光:12V100W卤素灯光源;电动孔径大小调节 |
透射光:12V100W卤素灯光源;长工作距离聚光镜 | |
物镜转盘 | 6孔电动物镜转盘,带DIC插槽; |
物镜 | CFI LU/L Plan 系列物镜 LU Plan 5X NA: WD:; LU Plan10X NA: WD: LU Plan 20X NA: WD:; LU Plan 50X NA: WD: |
载物台 | 8英寸平台,移动范围:205X205mm;透射观察范围:150mmX150mm |
观察筒 | L2-TT2 超宽视野正立倾角三目观察筒;视野数:25; |
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