本装置由我公司和材料物理重点实验室联合研制,适用于在塑胶、玻璃、陶瓷等材质的工件上镀制金属膜、装饰膜、硬质膜、金刚膜、或光学膜等科研与生产工作。
主要技术参数:
◆真空室:镀膜室尺寸:Φ450×540mm;结构:箱式前开门结构,后置抽气系统,手动推拉式;观察窗:镀膜室门上配有Φ100mm观察窗;
◆蒸发组件:蒸发电源(3KW/10V)2组;水冷蒸发电极2对;
◆控制方式:手动按键式;
◆旋转夹具:球面拱形夹具,0~30r/min无级可调(可根据要求定制);
◆工件烘烤:室温~300℃(PID控制);
◆真空测量:数显复合真空计;
◆供电电源:三相AC380V,50Hz;
◆选配件:石英晶振膜厚测控仪、高压离子轰击;
◆用户需自备或另购冷却水系统。