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EVG101_匀胶机_光刻胶涂胶机

参考价面议
具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称岱美仪器技术服务(上海)有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地上海
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2023/7/30 16:18:05
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??岱美有限公司成立于1989年,是数据存储,半导体,光学,光伏和航空航天行业制造商和创新研发机构的*设备分销商。??在21世纪初期,岱美已从我们在中国香港的总部扩展到亚洲,以满足客户的多样化需求。在当今化的市场中,我们的客户包括连接东南亚各国的综合供应链,我们的专业人员随时准备与他们会面。??我们的总部设在中国香港,在中国大陆地区(北京和上海,以及广东东莞)拥有强大的业务。我们还在马来西亚,新加坡,中国台湾地区,菲律宾和泰国等东南亚国 家和地区设有分支机构。岱美拥有训练有素的工程师,能够为各地区用户提供快捷、可靠的技术支持和维修服务;为确保他们的专业知识得以更新及并适应新的要求,岱美定期委派工程师前往海外接受专项技术训练,务求为顾客提供更高质素的售后服务及技术支持。我们的分支机构都已建立数十年,我们的许多客户对我们与他们建立的长达数十年的合作关系感到满意。??我们的目标是建立持久的关系,满足东南亚企业快速增长的需求。对于我们的客户,我们不仅提供设备,还提供建议和技术指导,以及时了解我们不断发展的行业的发展。对于我们的供应商,我们提供了深入的销售网络和数十年的东南亚复杂商业环境导航经验。我们将本地客户与来自欧洲,美国,日本和韩国的*设备与技术连接起来。岱美合作客户??岱美在中国大陆地区主要销售或提供技术支持的产品:??晶圆键合机、纳米压印设备、紫外光刻机、涂胶显影机、硅片清洗机、超薄晶圆处理设备、光学三维轮廓仪、硅穿孔TSV量测、非接触式光学三坐标测量仪、薄膜厚度检测仪、主动及被动式防震台系统、应力检测仪、电容式位移传感器等。??如有需要,请联系我们,了解我们如何开始与您之间的合作,实现您的企业或者组织机构长期发展的目标。注:在大陆地区注册的公司名称为:岱美仪器技术服务(上海)有限公司,并有东莞分公司和北京办事处。
EVG101_匀胶机_光刻胶涂胶机基本功能:研发和小规模生产中的单晶圆光刻胶加工,含旋涂和喷涂等工艺
EVG101_匀胶机_光刻胶涂胶机 产品信息

  EVG101_匀胶机_光刻胶涂胶机基本功能:研发和小规模生产中的单晶圆光刻胶加工,含旋涂和喷涂等工艺。

一、 简介

  EVG101_匀胶机_光刻胶涂胶机在单室设计上可以满足研发工作,与EVG的自动化系统兼容。EVG101支持zui大300 mm的晶圆,可配置为旋涂或喷涂和显影。使用EVG*的OmniSpray涂层技术,在3D结构晶圆上实现光刻胶或聚合物的共形层,用于互连技术。这确保了高粘度光致光刻胶或聚合物的低材料消耗,同时改善了均匀性并防止了扩散。

二、EVG101匀胶机技术参数:

  1)晶圆尺寸:高达300mm(12寸)

  2)支持模式:旋涂/ OmniSpray®/生长

  3)晶圆支撑模式:单臂/双EE/边缘/翻动

  4)分配模式:

  - 各种分配泵,可覆盖高达52000cP的各种粘度

  - 恒压分配系统

  - EBR / BSR /预湿/碗洗/液体灌注

EVG101_匀胶机_光刻胶涂胶机喷涂结果

图1 喷涂结果

三、EVG101匀胶机特征:

  1)晶圆尺寸可达300 mm

  2)自动旋涂或喷涂或使用手动晶圆装载/卸载进行显影

  3)利用从研究到生产的快速简便的过程转换

  4)成熟的模块化设计和标准化软件

  5)注射器分配系统,用于利用小的光刻胶体积,包括高粘度光刻胶

  6)占地面积小,同时保持高水平的个人和过程安全性

  7)多用户概念(无限数量的用户帐户和程序,可分配的访问权限,不同的用户界面语言)

  8)选项:

  - 采用OmniSpray®涂层技术均匀涂覆晶圆的高表面形貌

  - 用于后续键合工艺的蜡和环氧树脂涂层

  - 旋涂玻璃(SOG)涂层

EVG101_匀胶机_光刻胶涂胶机喷涂结构

图2 喷涂形成的金属结构


关键词:匀胶机
15700104732
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