lintec高性能数字质量流量控制器MC-3000L
高性能数字质量流量控制器，具有 ±1% SP 保证。
LINTEC的环境温度补偿传感器即使在低温下也能实现高精度的流量测量。 它可抑制由于传感器受热而导致的老化劣化，甚至可以控制流量，即使是臭氧等高度可降解的气体。
作为选项，高性能、数字质量流量控制器可以处理液化气、微流量 F.S.、宽范围、表面间距和接头名称。
长处
准确度±1%SP
工作温度 5~50°C
金属密封件
清洁（保证颗粒）
环境温度补偿传感器
RS-485 通信
选择
微流 F.S.
兼容液化气
宽
使用示例
半导体制造预处理
由于CVD（化学气相沉积）ALD沉积设备和蚀刻设备中使用高活性气体，因此具有高耐腐蚀性金属密封的气体质量流量控制器至关重要。
此外，前驱体在常温常压下含有大量液化气体，因此具有耐热性且不易液化的阀门结构很重要。 MC-3000L高精度质量流量控制器可从液化气选项中选择，最高工作温度为50°C（可选55°C）。
分析器
分析仪可能需要控制分钟流速，但一般质量流量控制器的最小F.S.为5 SCCM，无法控制分钟流速。 MC-3000L高精度质量流量控制器可选配F.S.1SCCM或更低尺寸。 详情请联络我们。
此外，高精度质量流量控制器MC-3000L还标配低死体积隔膜阀。
lintec高性能数字质量流量控制器MC-3000L
规格
| 温度 | 最小压差 | 最大压差 | 精度 | 控制范围 | 低标准 | 最高 F.S. | 密封 |
| 5~50°C | 50kPa | 300kPa | ±1%自保 | 2~100%F.S. | 5SCCM | 400SLM | 金 |
* 规格表为具有一般规格的质量流量控制器。 可以通过选项进行更改。
