Z1量程：50mm
X轴：±(1+L/300) μm
Z1轴：±(0.8+2H/100) μm
| 测量参数 | |
| 粗糙度 部分 | Ra,Rz=Ry(JIS),Rq,Rt=Rmax,Rp,Rv,R3z,R3y,RzJIS,Rs,Rsk,Rku,Rsm,Rmr |
| 轮廓仪 部分 | 点、直线、圆、部分圆、椭圆、圆弧处理（圆弧半径、圆心距、圆心到直线的距离、交点到圆心的距离等）、点、点、距离、角度处理（坐标夹角、直线夹角）、直线度、槽深、槽宽、沟边距、沟心距、水平距、凸度（对数曲线）、轮廓度等参数 |
| 粗糙度 测量范围 | |
| X轴 | RA：0.005μm—16.00μm |
| Z1轴 | ±20μm、±40μm、±80μm |
| 取 样 长 度 L | 0.25mm、0.80mm、2.50mm、自动 |
| 评 定 长 度 | 1L—5L(可选 L为取样长度) |
| 测量行程长度 | 3L—7L(可选 L为取样长度) |
| 轮廓仪 测量范围 | |
| X轴（横导轨） | 120mm |
| Z1轴（传感器） | 50mm |
| Z轴（立柱） | 400mm |
| 粗糙度 测量精度 | |
| 示值误差 1 | 0.001μm |
| 示值误差 2 | ≤±7％ |
| 轮廓仪 测量精度 | |
| X轴 (L=X轴导轨移动距离) | ±(1+L/300)μm |
| Z1轴 (H=Z1轴方向测量高度) | ±(0.8+2H/100)μm |
| X轴水平臂 | |
| 直线度 | 1μm/120mm |
| 光栅分辨率 | 0.1μm |
| 光栅产地 | 进口 |
| Z1轴传感器 | |
| 分辨率 | 0.05μm |
| 传感器类型 | 光栅传感器 |
| 产地 | 进口 |
| 移动方向 | 前/后 双方向 |
| 测力 | 0.5-6g |
| 测针针尖 | 硬质合金 R：0.05mm、0.01mm |
| 爬坡角度 | 上升77度 下降88度 |
| 驱动行程 | |
| 驱动行程长度 | 17.5mm/0.71 inch |
| 最小驱动行程长度 | 1.3mm/0.052 inch |
| 粗糙度 速度 | |
| 测量速度 | 0.135mm/s、0. 5mm/s、1mm/s |
| 轮廓仪 速度 | |
| 测量速度 | 0.1mm/s,0.2mm/s,0.5mm/s（自定义） |
| 定位速度 | 0.1mm/s,0.2mm/s,0.5mm/s（自定义） |
| 图形放大/缩小 | |
| 图形放大 | 可任意缩小、放大 |
| 综合调整台 | |
| 综合调整台 | X轴水平倾斜调整范围：±30° Y轴方向调整范围：±7.5mm Z轴回转可调360度（带微调装置） |
| 安装要求 | |
| 电源 | 220-240V AC, 50HZ，单独地线；功率消耗450W |
| 压缩空气 | 纯净压缩空气：气压0.4MP，消耗0.1m3 /min （气源供给0.6MP，0.25m3 /min以上） |
| 环境要求 | 工作温度：10°-30°（常温）；湿度20-80%RH（无结露），良好地线，无明显振源 |
