货号 | 型号 | X1轴测量范围mm | 检测器测力mN | 垂直移动 | 花岗岩基座尺寸（WxD） | 尺寸（主机、WxDxH） | 重量（主机） |
525-421-1* | SV-C3100S4 | 100 | 0.75 | 300mm电动立柱 | 610X450mm | 996X575X966mm | 140kg |
525-421-2* | SV-C3100S4 | 100 | 4 | 300mm电动立柱 | 610X450mm | 996X575X966mm | 140kg |
525-422-1* | SV-C3100H4 | 100 | 0.75 | 500mm电动立柱 | 610X450mm | 996x575x1176mm | 150kg |
525-422-2* | SV-C3100H4 | 100 | 4 | 500mm电动立柱 | 610X450mm | 996x575x1176mm | 150kg |
525-423-1* | SV-C3100W4 | 100 | 0.75 | 500mm电动立柱 | 1000X450mm | 1396x575x1176mm | 220kg |
525-423-2* | SV-C3100W4 | 100 | 4 | 500mm电动立柱 | 1000X450mm | 1396x575x1176mm | 220kg |
525-426-1* | SV-C3100S8 | 200 | 0.75 | 300mm电动立柱 | 610x450mm | 1005x575x966mm | 140kg |
525-426-2* | SV-C3100S8 | 200 | 4 | 300mm电动立柱 | 610x450mm | 1005x575x966mm | 140kg |
525-427-1* | SV-C3100H8 | 200 | 0.75 | 500mm电动立柱 | 610x450mm | 1005x575x1176mm | 150kg |
525-427-2* | SV-C3100H8 | 200 | 4 | 500mm电动立柱 | 610x450mm | 1005x575x1176mm | 150kg |
525-428-1* | SV-C3100W8 | 200 | 0.75 | 500mm电动立柱 | 1000x450mm | 1408x575x1176mm | 220kg |
525-428-2* | SV-C3100W8 | 200 | 4 | 500mm电动立柱 | 1000x450mm | 1408x575x1176mm | 220kg |
525-461-1* | SV-C4100S4 | 100 | 0.75 | 300mm电动立柱 | 610x450mm | 996X575X966mm | 140kg |
525-461-2* | SV-C4100S4 | 100 | 4 | 300mm电动立柱 | 610x450mm | 996X575X966mm | 140kg |
525-462-1* | SV-C4100H4 | 100 | 0.75 | 500mm电动立柱 | 610x450mm | 996x575x1176mm | 150kg |
525-462-2* | SV-C4100H4 | 100 | 4 | 500mm电动立柱 | 610x450mm | 996x575x1176mm | 150kg |
525-463-1* | SV-C4100W4 | 100 | 0.75 | 500mm电动立柱 | 1000X450mm | 1396x575x1176mm | 220kg |
525-463-2* | SV-C4100W4 | 100 | 4 | 500mm电动立柱 | 1000X450mm | 1396x575x1176mm | 220kg |
525-466-1* | SV-C3100S8 | 200 | 0.75 | 300mm电动立柱 | 610x450mm | 1005x575x966mm | 140kg |
525-466-2* | SV-C3100S8 | 200 | 4 | 300mm电动立柱 | 610x450mm | 1005x575x966mm | 140kg |
525-467-1* | SV-C3100H8 | 200 | 0.75 | 500mm电动立柱 | 610x450mm | 1005x575x1176mm | 150kg |
525-467-2* | SV-C3100H8 | 200 | 4 | 500mm电动立柱 | 610x450mm | 1005x575x1176mm | 150kg |
525-468-1* | SV-C3100W8 | 200 | 0.75 | 500mm电动立柱 | 1000x450mm | 1408x575x1176mm | 220kg |
525-468-2* | SV-C3100W8 | 200 | 4 | 500mm电动立柱 | 1000x450mm | 1408x575x1176mm | 220kg |
基本技术参数:
基座尺寸 (W x H): 750 x600mm或 1000 x450mm
基座材料: 花岗岩
重量
主机:140kg(S4),150kg(H4),220kg(W4)
140kg (S8),150kg(H8),220kg(W8)
控制器:14kg
遥控箱:0.9kg
电源: 100 – 240VAC ±10%, 50/60Hz
能耗: 400W (主机)
轮廓测量技术参数:
X 轴
测量范围:100mm或 200mm
分辨率: 0.05μm
检测方法: 反射型线性编码器
驱动速度:80mm/s、外加手动
测量速度: 0.02 -5mm/s
移动方向: 向前／向后
直线度: 0.8μm /100mm, 2μm /200mm
* 以X 轴为水平方向上
直线位移: ±(1+0.01L)μm (SV-C3100S4, H4, W4)
精度 (20° C时) ±(0.8+0.01L)μm (SV-C4100S4, H4, W4)
±(1+0.02L)μm (SV-C3100S8, H8, W8)
±(0.8+0.02L)μm (SV-C4100S8, H8, W8)
* L 为驱动长度(mm)
倾角范围: ±45°
Z2 轴 (立柱)
垂直移动:300mm或 500mm
分辨率: 1μm
检测方法: ABSOLUTE 线性编码器
驱动速度: 0 -20mm/s、外加手动
Z1 轴 (检测器)
测量范围: ±25mm
分辨率: 0.2μm (SV-C3100),
0.05μm (SV-C4100)
检测方法: 线性编码器 (SV-C3100),
激光全息测微计 (SV-C4100)
直线位移: ±(2+I4HI/100)μm (SV-C3100)
精度 (20° C时) ±(0.8+I0.5HI/25)μm (SV-C4100)
*H: 基于水平位置的测量高度(mm)
测针上／下运作: 弧形移动
测针方向: 向上／向下
测力: 30mN
跟踪角度: 向上: 77° , 向下: 87°
(使用配置的标准测头，依表面粗
糙度而定)
测针针尖 ***半径: 25μm、硬质合金***
表面粗糙度测量的技术参数：
X1 轴
测量范围:100mm或 200mm
分辨率: 0.05μm
检测方法: 线性编码器
驱动速度:80mm/s
移动方向: 向后
直线度: (0.05+1.5L/1000)μm (S4, H4, W4 型)
0.5μm/200mm(S8, H8, W8 型)
Z2 轴 (立柱)
垂直移动:300mm或 500mm
分辨率: 1μm
检测方法: ABSOLUTE 线性编码器
驱动速度: 0 -20mm/s、外加手动
检测器
范围／分辨率: 800μm / 0.01μm, 80μm / 0.001μm,
8μm / 0.0001μm
(2400μm 使用测头选件)
检测方法: 无轨／有轨测量
测力: 4mN 或 0.75mN (低测力型)
测针针尖: 金刚石、90º / 5μmR
(60º / 2μmR: 低测力型)
导头曲率半径:40mm
检测方法: 差动电感式
使用旋转工作台 使用Y 轴工作台 q1
使用旋转工作台 q2
自动测量
• 在与CNC 机型配套使用的众多外设选件
的支持下，可实现自动测量。
SV-C3100S4
带PC 和数据分析软件的SV-C3100S4
表面粗糙度测量
• 直线度: ±(0.05+0.001L)μm*
专用于需要精度测量的工件。
*S4 型、H4 型、W4 型；L 为驱动长度 (mm)
• 符合JIS '82/'94/'01, ISO, ANSI, DIN, VDA 等表面
粗糙度的标准。
• 标准配置：精度测头 (0.75mN / 4mN 测力) ，
分辨率至0.0001μm。
轮廓驱动测量
• X 轴精度: ±(0.8+0.01L)μm*
Z1 轴精度: ±(0.8+I0.5HI/25)μm*
专用于需要精度测量的工件。
* SV-C4100S4 型、H4 型、W4 型；L 为驱动长度, H 为测量高度 (mm)
• SV-C4100 系列的轮廓驱动器配备了激光全
息测微计测头，Z1 轴宽／窄范围均能达
*产品信息仅供参考，型号和技术参数生产厂家有可能随时更改
