SPR2000系列 粗糙度轮廓仪
产品特点
性能和成本的平衡，具有性价比。
高精度数字式轮廓传感器
无导头宽范围粗糙度传感器
大量程轮廓测量，微观轮廓度测量
宽范围粗糙度测量
高精度大量程粗糙度、高精度大量程轮廓测量的复合机型
技术规格 规格号 SPR1000 SPR2000 测量范围 X轴 100~220mm Z轴 320~620mm Z1轴 C:0~±30mm/R:±420μm C:0~±30mm/R:±620μm 轮廓精度 Z1线性精度¹ ±（1.5+|0.2H|）μm ±（0.8+|0.2H|）μm 圆弧² ±（1.5+R/8)μm ±（1.5+R/12)μm 角度³ ±2 ±1 直线度 0.8μm/100mm 0.5μm/100mm 粗糙度精度 线性精度 ≤±（7nm+3.5%） ≤±（5nm+2.8%） 残值噪声 ≤0.025μm ≤0.005μm 重复性 1δ≤2nm 1δ≤1nm 截止波长 0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm 评定长度 λCX2、3、4、5、6、7 驱动速度 X轴 0.1~10mm/s 0.05~15mm/s Z轴 0.5~10mm/s 0.2~15mm/s 测量功能 轮廓 各种类型工件表面的线要素，点要素、点与点的距离、线与线的距离、各要素的位置度包括距离、平行度、垂直度、角度、槽深、槽宽、半径、可进行直线度分析、凸度分析、轮廓度分析。 粗糙度 粗糙度功能：Ra、Rp、Rv、Rz、Rz（jis）、R3z、RzDIN、Rzj、Rmax、Rc、Rt、Rq、Rsk、Rku、Rsm、Rs、R△q、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、Rmr 波纹度参数：Wa、Wt、Wp、Wv、Wz、Wq、Wsm、Wsk、Wku、Wmr 原始轮廓参数：Pa、Pt、Pp、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、Pmr
