不同元素发出的特征X射线能量和波长各不相同，因此通过对X射线的能量或者波长的测量即可知道它是何种元素发出的，进行元素的定性分析。同时样品受激发后发射某一元素的特征X射线强度跟这元素在样品中的含量有关，因此测出它的强度就能进行元素的定量分析。
X荧光光谱仪分类：
X荧光光谱仪有两种基本类型：波长色散型（WD-XRF）和能量色散型（ED-XRF）。
以X荧光的波粒二象性中波长特征为原理的称为波长色散型，以能量特征为原理的称为能量色散型。
X射线荧光分析仪原理及特点：
荧光，顾名思义就是在光的照射下发出的光。
从原子物理学的知识我们知道，对每一种化学元素的原子来说，都有其特定的能级结构，其核外电子都以各自的能量在各自的固定轨道上运行，内层电子在足够能量的X射线照射下脱离原子核的束缚，成为自由电子，我们说原子被激发了，处于激发态，这时，其他的外层电子便会这一空位，也就是所谓跃迁，同时以发出X射线的形式放出能量。由于每一种元素的原子能级结构都是特定的，它被激发后跃迁时放出的X射线的能量也是特定的，称之为特征X射线。通过测定特征X射线的能量，便可以确定相应元素的存在，而特征X射线的强弱（或者说X射线光子的多少）则代表该元素的含量。
量子力学知识告诉我们，X 射线具有波粒二象性，既可以看作粒子，也可以看作电磁波。看作粒子时的能量和看作电磁波时的波长有着一一对应关系。这就是的普朗克公式：E=hc/λ。显然，无论是测定能量，还是波长，都可以实现对相应元素的分析，其效果是一样的。
X荧光分析仪仪器特点：
电制冷探测器，可以快速分析从11Na到92U之间的全部元素，精度高、测量时间短，它可以广泛用于有色矿山、钢铁、水泥、耐火材料、不锈钢、合金等领域。
X荧光光谱仪主要用途：
X荧光光谱仪根据各元素的特征X射线的强度，可以 测定元素含量。
近年来，X荧光光谱分析在各行业应用范围不断拓展，已成为一种广泛应用于冶金、地质、有色、建材、商检、环保、卫生等各个领域，特别是在RoHS检测领域应用得多也广泛。
大多数分析元素均可用其进行分析，可分析固体、粉末、熔珠、液体等样品，分析范围为Be到U。并且具有分析速度快、测量范围宽、干扰小的特点。
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